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wuyuy2k木虫 (小有名气)
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【请教】如何降低靶材镀膜过程中的掉粉率？
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| 想了解一下，掉粉率和靶材的热稳定性有关么？是不是靶材的热稳定性越好镀膜时掉粉率就越低。比如说AZO靶，能否通过掺杂一些元素来改进掉粉率，还请做过此方面工作的大大们赐教啊：） |
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