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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 综合其它 » 【请教】如何降低靶材镀膜过程中的掉粉率？
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wuyuy2k

木虫 (小有名气)

[交流] 【请教】如何降低靶材镀膜过程中的掉粉率？

想了解一下，掉粉率和靶材的热稳定性有关么？是不是靶材的热稳定性越好镀膜时掉粉率就越低。比如说AZO靶，能否通过掺杂一些元素来改进掉粉率，还请做过此方面工作的大大们赐教啊：）
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1楼 2009-08-26 16:57:14
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙
★ ★ ★
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bio-polymer(金币+1,VIP+0):谢谢交流 8-26 17:43
洛阳学子(金币+1,VIP+0):多谢 9-10 17:31
我觉得主要设备的设计问题，如果靶在下，衬底在上就没有掉粉的问题了，现在的磁控溅射设备为了避免上述问题一般都这样设计。再有，如果靶中为了改善掉粉率而故意掺杂了一些元素，那薄膜中不也有杂质了？而这些杂质你想要吗？
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没有困难创造困难也要上网。
2楼2009-08-26 17:11:10
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wuyuy2k

木虫 (小有名气)
恩，您说的引入杂质的问题是需要考虑，谢谢您的建议：）
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3楼2009-08-27 09:44:07
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enquan123

金虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
能否将靶材致密化一些呢？
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No matter what I do,I always forget to forget you...
4楼2009-08-27 20:05:25
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wuyuy2k

木虫 (小有名气)
这个，好像靶材的致密化程度已经很高了。。。
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5楼2009-08-28 15:20:54
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haimenly

铜虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
我们在做AZO时也发现掉粉非常严重，也希望能有解决办法
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6楼2009-09-03 07:54:37
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sheqiuyun

新虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
我在实验中也出现了类似的问题，但是只是在镀的时间很长时才会出现。
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7楼2009-09-03 08:08:31
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wuyuy2k

木虫 (小有名气)
在光伏论坛上查到一种说法，掉粉可能是由于做靶材的过程中脱氧太多了，因为我们是真空烧结的。。。
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8楼2009-09-03 08:47:48
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aftergodme

金虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
不知道你靶材的密度达到了多少,感觉是密度不够高.
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9楼2009-09-03 08:48:10
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wuyuy2k

木虫 (小有名气)
密度已经98+了，呵呵，应该是制作工艺的问题
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10楼2009-09-10 15:31:54
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