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wuyuy2k木虫 (小有名气)
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[交流]
【请教】如何降低靶材镀膜过程中的掉粉率?
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| 想了解一下,掉粉率和靶材的热稳定性有关么?是不是靶材的热稳定性越好镀膜时掉粉率就越低。比如说AZO靶,能否通过掺杂一些元素来改进掉粉率,还请做过此方面工作的大大们赐教啊:) |
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