24小时热门版块排行榜    

查看: 974  |  回复: 11
当前主题已经存档。
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

wuyuy2k

木虫 (小有名气)

[交流] 【请教】如何降低靶材镀膜过程中的掉粉率?

想了解一下,掉粉率和靶材的热稳定性有关么?是不是靶材的热稳定性越好镀膜时掉粉率就越低。比如说AZO靶,能否通过掺杂一些元素来改进掉粉率,还请做过此方面工作的大大们赐教啊:)
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射靶材资料大全

» 猜你喜欢

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wuyuy2k

木虫 (小有名气)

恩,您说的引入杂质的问题是需要考虑,谢谢您的建议:)
3楼2009-08-27 09:44:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 12 个回答

qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
bio-polymer(金币+1,VIP+0):谢谢交流 8-26 17:43
洛阳学子(金币+1,VIP+0):多谢 9-10 17:31
我觉得主要设备的设计问题,如果靶在下,衬底在上就没有掉粉的问题了,现在的磁控溅射设备为了避免上述问题一般都这样设计。再有,如果靶中为了改善掉粉率而故意掺杂了一些元素,那薄膜中不也有杂质了?而这些杂质你想要吗?
没有困难创造困难也要上网。
2楼2009-08-26 17:11:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

enquan123

金虫 (著名写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
能否将靶材致密化一些呢?
No matter what I do,I always forget to forget you...
4楼2009-08-27 20:05:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wuyuy2k

木虫 (小有名气)

这个,好像靶材的致密化程度已经很高了。。。
5楼2009-08-28 15:20:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 面上项目filecode邪修 +4 西山十月 2026-08-09 6/300 2026-08-10 00:16 by liufeng0619
[基金申请] 应该是93bebmhtak前后十一个字符比较关键 +7 Lanmanbaby 2026-08-09 14/700 2026-08-09 23:33 by Tide man
[基金申请] 关于代码变化问题,想知道的进来 +15 且听虎啸 2026-08-07 22/1100 2026-08-09 22:13 by 布布和一二
[基金申请] filecode与中标关系的预测 +5 布布和一二 2026-08-07 5/250 2026-08-09 16:15 by 袁向阳007
[基金申请] fileCode有新解读? +10 Tide man 2026-08-08 18/900 2026-08-09 12:55 by 仁砚薪传
[考博] 【2027博士申请】纳米药物递送方向 20+3 13586093586 2026-08-03 5/250 2026-08-08 21:54 by 13586093586
[基金申请] 关于豆爷回答的JTJC与%2F数量 +5 yang182083 2026-08-06 7/350 2026-08-08 18:29 by zhanghaozhu
[基金申请] 好奇怪的filecode +3 布布和一二 2026-08-08 4/200 2026-08-08 17:46 by zhanghaozhu
[基金申请] 关于filecode +4 布布和一二 2026-08-07 7/350 2026-08-07 22:55 by zhanghaozhu
[基金申请] 娱乐 +6 Tide man 2026-08-03 6/300 2026-08-07 22:40 by 铁帽子农民
[基金申请] 化学口download_prp&fileCode的固定段好像这几天一直没变,有变的大神么? +3 Tide man 2026-08-07 4/200 2026-08-07 22:39 by Tide man
[基金申请] 固定端突然变了,今天 +6 archvillain 2026-08-06 10/500 2026-08-07 16:03 by 医学老男孩
[基金申请] 听说今天filecode变了 +24 布布和一二 2026-08-06 47/2350 2026-08-07 16:02 by zhiyanjiang
[基金申请] filecode变化情况 +6 布布和一二 2026-08-07 22/1100 2026-08-07 14:45 by 且听虎啸
[基金申请] 大家散了吧,后缀研究没有意义,别浪费时间了,过好目前的每一天,不要焦虑 +5 Tide man 2026-08-06 7/350 2026-08-07 13:11 by 医学老男孩
[基金申请] filecode +14 等待解的谜 2026-08-06 19/950 2026-08-07 12:20 by wlwhappy
[基金申请] filecode +8 布布和一二 2026-08-06 11/550 2026-08-06 20:41 by tangpu318
[基金申请] 求各位大神看下 100+6 hpkpkpkp 2026-08-05 33/1650 2026-08-06 14:49 by zhiyanjiang
[基金申请] 好消息?这个有何含义??? +8 Tide man 2026-08-05 10/500 2026-08-05 16:14 by xmuxiaoyu
[基金申请] 什么时候能放榜呀? +3 Jacob678 2026-08-03 3/150 2026-08-03 16:14 by gltch
信息提示
请填处理意见