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wuyuy2k木虫 (小有名气)
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[交流]
【请教】如何降低靶材镀膜过程中的掉粉率？
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| 想了解一下，掉粉率和靶材的热稳定性有关么？是不是靶材的热稳定性越好镀膜时掉粉率就越低。比如说AZO靶，能否通过掺杂一些元素来改进掉粉率，还请做过此方面工作的大大们赐教啊：） |
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6楼2009-09-03 07:54:37
qfw_68
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有尾巴的青蛙
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2楼2009-08-26 17:11:10
wuyuy2k
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3楼2009-08-27 09:44:07
4楼2009-08-27 20:05:25
