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激光直写光刻边缘锯齿 已有3人参与
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目前在做激光直写光刻，遇到一些问题，还望各位大佬指点一下。 详细情况： 在不同基底上做激光直写光刻，目前在k9等基底上做出来线条好，但Ge基底上存在边缘锯齿状问题，考虑到光刻胶折射率和Ge基底折射率不匹配导致的驻波效应，也经行了一定的改善，但目前边缘锯齿问题。 涂胶方式:喷涂 光刻胶:Az9260 显影液:238    @yswyx 发自小木虫Android客户端 |
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8楼2022-04-22 17:51:01
lithofab
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2楼2021-11-24 08:42:44
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4楼2021-11-25 14:48:21
