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激光直写光刻边缘锯齿 已有3人参与
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目前在做激光直写光刻,遇到一些问题,还望各位大佬指点一下。 详细情况: 在不同基底上做激光直写光刻,目前在k9等基底上做出来线条好,但Ge基底上存在边缘锯齿状问题,考虑到光刻胶折射率和Ge基底折射率不匹配导致的驻波效应,也经行了一定的改善,但目前边缘锯齿问题。 涂胶方式:喷涂 光刻胶:Az9260 显影液:238 @yswyx 发自小木虫Android客户端 |
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无机化学论文润色/翻译怎么收费?
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lithofab
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