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泽西子娅

新虫 (小有名气)

[求助] 激光直写光刻边缘锯齿 已有3人参与

目前在做激光直写光刻,遇到一些问题,还望各位大佬指点一下。
详细情况:
在不同基底上做激光直写光刻,目前在k9等基底上做出来线条好,但Ge基底上存在边缘锯齿状问题,考虑到光刻胶折射率和Ge基底折射率不匹配导致的驻波效应,也经行了一定的改善,但目前边缘锯齿问题。
涂胶方式:喷涂
光刻胶:Az9260
显影液:238

激光直写光刻边缘锯齿


激光直写光刻边缘锯齿-1


激光直写光刻边缘锯齿-2


@yswyx 发自小木虫Android客户端
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lithofab

新虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
波浪如此的规律,找光刻机的问题吧。
2楼2021-11-24 08:42:44
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hitsz_li

铁虫 (初入文坛)

激光直写是单色光源,感觉驻波的可能性大点,  而且图上明显锯齿状结构出现在胶厚有变化的区域(边缘),胶厚均匀的地方锯齿不明显,所以判断是驻波。后烘或者ARC吧
3楼2021-11-25 10:48:12
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泽西子娅

新虫 (小有名气)

好的,我试试,谢谢

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4楼2021-11-25 14:48:21
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stellaintl

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

首先光刻机本身和驻波效应都会产生边缘锯齿的问题,想排除光刻机的问题,您可以查看一下所有图形在垂直和水平方向的锯齿情况,对比其它角度。
驻波效应的话,在厚胶工艺中比较常见,可以增加抗反射图层。
4Pico激光直写致力于高精度的微纳米结构的加工
5楼2021-12-07 14:45:50
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泽西子娅

新虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by stellaintl at 2021-12-07 14:45:50
首先光刻机本身和驻波效应都会产生边缘锯齿的问题,想排除光刻机的问题,您可以查看一下所有图形在垂直和水平方向的锯齿情况,对比其它角度。
驻波效应的话,在厚胶工艺中比较常见,可以增加抗反射图层。

好的,非常感谢,抗反射层已经试过了,边缘还是有锯齿,我再看看光刻机的问题

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6楼2021-12-10 18:16:28
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烦躁的人生

新虫 (小有名气)

如需EBL代工可以联系我,13299909760
7楼2022-01-04 14:05:56
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qiyao_2021

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

佛山齐耀公司主要向科研院所、高校、以及科技创新型企业提供半导体行业相关耗材销售。公司目前经营的产品有日本热板、烘箱、涂胶机等桌面型设备。单双抛硅片、光刻胶4620、SU8、6130等,国内外货源充实。有意可致电咨询:0757-63522339,或13336518063。
8楼2022-04-22 17:51:01
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