应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 激光直写光刻边缘锯齿
81/1返回列表
查看: 2177  |  回复: 7
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
【悬赏金币】回答本帖问题，作者泽西子娅将赠送您 80 个金币

泽西子娅

新虫 (小有名气)

[求助] 激光直写光刻边缘锯齿 已有3人参与

目前在做激光直写光刻，遇到一些问题，还望各位大佬指点一下。
详细情况：
在不同基底上做激光直写光刻，目前在k9等基底上做出来线条好，但Ge基底上存在边缘锯齿状问题，考虑到光刻胶折射率和Ge基底折射率不匹配导致的驻波效应，也经行了一定的改善，但目前边缘锯齿问题。
涂胶方式:喷涂
光刻胶:Az9260
显影液:238

激光直写光刻边缘锯齿


激光直写光刻边缘锯齿-1


激光直写光刻边缘锯齿-2


@yswyx 发自小木虫Android客户端
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2021-11-23 13:55:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lithofab

新虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
波浪如此的规律，找光刻机的问题吧。
赞一下 回复此楼
2楼2021-11-24 08:42:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hitsz_li

铁虫 (初入文坛)
激光直写是单色光源，感觉驻波的可能性大点，  而且图上明显锯齿状结构出现在胶厚有变化的区域（边缘），胶厚均匀的地方锯齿不明显，所以判断是驻波。后烘或者ARC吧
赞一下 回复此楼
3楼2021-11-25 10:48:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

泽西子娅

新虫 (小有名气)
好的，我试试，谢谢

发自小木虫Android客户端
回复此楼
4楼2021-11-25 14:48:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

stellaintl

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

首先光刻机本身和驻波效应都会产生边缘锯齿的问题，想排除光刻机的问题，您可以查看一下所有图形在垂直和水平方向的锯齿情况，对比其它角度。
驻波效应的话，在厚胶工艺中比较常见，可以增加抗反射图层。
赞一下 回复此楼
4Pico激光直写致力于高精度的微纳米结构的加工
5楼2021-12-07 14:45:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

泽西子娅

新虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by stellaintl at 2021-12-07 14:45:50
首先光刻机本身和驻波效应都会产生边缘锯齿的问题，想排除光刻机的问题，您可以查看一下所有图形在垂直和水平方向的锯齿情况，对比其它角度。
驻波效应的话，在厚胶工艺中比较常见，可以增加抗反射图层。

好的，非常感谢，抗反射层已经试过了，边缘还是有锯齿，我再看看光刻机的问题

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
6楼2021-12-10 18:16:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

烦躁的人生

新虫 (小有名气)
如需EBL代工可以联系我，13299909760
赞一下 回复此楼
7楼2022-01-04 14:05:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qiyao_2021

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

佛山齐耀公司主要向科研院所、高校、以及科技创新型企业提供半导体行业相关耗材销售。公司目前经营的产品有日本热板、烘箱、涂胶机等桌面型设备。单双抛硅片、光刻胶4620、SU8、6130等，国内外货源充实。有意可致电咨询：0757-63522339，或13336518063。
赞一下 回复此楼
8楼2022-04-22 17:51:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 泽西子娅 的主题更新
81/1返回列表
不应助 确定回帖应助 (注意：应助才可能被奖励，但不允许灌水，必须填写15个字符以上)
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 Aj1rhIDL5ixY 2026-09-14 3/150 2026-09-15 20:47 by zNcEhTcH7ihq
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 Aj1rhIDL5ixY 2026-09-14 3/150 2026-09-15 20:26 by zNcEhTcH7ihq
[考博] 上海工程技术大学激光智能制造课题组招收博士研究生 +6 两三岁ss 2026-09-14 6/300 2026-09-15 20:17 by 只吃肉葡萄
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 Aj1rhIDL5ixY 2026-09-14 3/150 2026-09-15 20:14 by zNcEhTcH7ihq
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 40ms4Wlo4umh 2026-09-14 3/150 2026-09-15 19:23 by CgyNCDVNhGVg
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 40ms4Wlo4umh 2026-09-14 3/150 2026-09-15 18:59 by CgyNCDVNhGVg
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +5 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 5/250 2026-09-15 16:59 by CgyNCDVNhGVg
[博后之家] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 5/250 2026-09-15 16:50 by CgyNCDVNhGVg
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +5 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 5/250 2026-09-15 16:35 by CgyNCDVNhGVg
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 3/150 2026-09-15 15:50 by CgyNCDVNhGVg
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +4 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 4/200 2026-09-15 14:14 by VMDqgnlKimtZ
[公派出国] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 3/150 2026-09-15 08:58 by C79jjtjAKjEn
[考博] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 3/150 2026-09-15 07:58 by C79jjtjAKjEn
[教师之家] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +4 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 4/200 2026-09-15 06:50 by 5BDX0d0WFp7t
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 5/250 2026-09-15 06:49 by 5BDX0d0WFp7t
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +4 LwdutQ8HoqWP 2026-09-13 4/200 2026-09-15 06:14 by 5BDX0d0WFp7t
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +6 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 6/300 2026-09-15 05:38 by 5BDX0d0WFp7t
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +6 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 7/350 2026-09-15 05:22 by 5BDX0d0WFp7t
[基金申请] 求教各位大神：2026教育部人文社科青年基金项目何时公示呀？ +5 云宴山人 2026-09-10 7/350 2026-09-14 12:11 by ecnu2013
[找工作] 浙江师范大学是怎么坑我的 +6 recruit123 2026-09-09 6/300 2026-09-14 12:00 by 萨仁其其格
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭