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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 激光直写光刻边缘锯齿
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泽西子娅

新虫 (小有名气)

[求助] 激光直写光刻边缘锯齿 已有3人参与

目前在做激光直写光刻，遇到一些问题，还望各位大佬指点一下。
详细情况：
在不同基底上做激光直写光刻，目前在k9等基底上做出来线条好，但Ge基底上存在边缘锯齿状问题，考虑到光刻胶折射率和Ge基底折射率不匹配导致的驻波效应，也经行了一定的改善，但目前边缘锯齿问题。
涂胶方式:喷涂
光刻胶:Az9260
显影液:238

激光直写光刻边缘锯齿


激光直写光刻边缘锯齿-1


激光直写光刻边缘锯齿-2


@yswyx 发自小木虫Android客户端
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1楼 2021-11-23 13:55:47
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hitsz_li

铁虫 (初入文坛)
激光直写是单色光源，感觉驻波的可能性大点，  而且图上明显锯齿状结构出现在胶厚有变化的区域（边缘），胶厚均匀的地方锯齿不明显，所以判断是驻波。后烘或者ARC吧
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3楼2021-11-25 10:48:12
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lithofab

新虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
波浪如此的规律，找光刻机的问题吧。
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2楼2021-11-24 08:42:44
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泽西子娅

新虫 (小有名气)
好的，我试试，谢谢

发自小木虫Android客户端
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4楼2021-11-25 14:48:21
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stellaintl

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

首先光刻机本身和驻波效应都会产生边缘锯齿的问题，想排除光刻机的问题，您可以查看一下所有图形在垂直和水平方向的锯齿情况，对比其它角度。
驻波效应的话，在厚胶工艺中比较常见，可以增加抗反射图层。
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4Pico激光直写致力于高精度的微纳米结构的加工
5楼2021-12-07 14:45:50
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