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Cjg8814

铜虫 (初入文坛)

[求助] 用AZ5214光刻胶,在ITO上光刻不上,哪位大神可以指点一下吗已有5人参与

工艺是500转速10s,4000转速50s,
烘烤110℃3min,
掩膜曝光1.2s,(10mw/cm2)
烘烤125℃2min10s,
裸曝光22s,
显影36s

玻璃上还好,ito上就刻不上了

用AZ5214光刻胶,在ITO上光刻不上,哪位大神可以指点一下吗


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济南创科

新虫 (初入文坛)

2楼2021-11-18 22:28:55
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Cjg8814

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 济南创科 at 2021-11-18 22:28:55
正胶用还是反转用

反胶用的

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3楼2021-11-19 11:04:29
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MEMS刘

新虫 (小有名气)

内容已删除
4楼2021-11-19 22:23:43
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lithofab

新虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

ITO薄膜线路可以不用光刻来做,直接强激光来加工线路。
5楼2021-11-23 08:32:53
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Cjg8814

铜虫 (初入文坛)

想加工个几微米的电极间距,激光没找到可以这么小的

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6楼2021-11-23 09:49:12
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hitsz_li

铁虫 (初入文坛)

先排查一下粘附性有没有问题,其次考虑一下有没有可能薄膜与碱液反应(显影液)
7楼2021-11-25 10:53:40
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MEMSlee

捐助贵宾 (著名写手)


【答案】应助回帖

你这个前烘温度和时间都不对的‘还有反转后烘烤时间温度都不对的。做出来这样是正常的
8楼2021-11-28 13:15:38
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stellaintl

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

两个方面考虑一下:第一就是ITO的粘附性,第二如友们说的,前烘和后烘的参数不太合适
4Pico激光直写致力于高精度的微纳米结构的加工
9楼2021-12-07 15:22:35
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烦躁的人生

新虫 (小有名气)

如需代工可以联系我,13299909760
10楼2022-01-04 14:07:56
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