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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 用AZ5214光刻胶，在ITO上光刻不上，哪位大神可以指点一下吗
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Cjg8814

铜虫 (初入文坛)

[求助] 用AZ5214光刻胶，在ITO上光刻不上，哪位大神可以指点一下吗 已有5人参与

工艺是500转速10s，4000转速50s，
烘烤110℃3min，
掩膜曝光1.2s，（10mw/cm2）
烘烤125℃2min10s，
裸曝光22s，
显影36s

玻璃上还好，ito上就刻不上了

用AZ5214光刻胶，在ITO上光刻不上，哪位大神可以指点一下吗


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1楼 2021-11-17 20:30:41
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济南创科

新虫 (初入文坛)
正胶用还是反转用

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2楼2021-11-18 22:28:55
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Cjg8814

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 济南创科 at 2021-11-18 22:28:55
正胶用还是反转用

反胶用的

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3楼2021-11-19 11:04:29
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MEMS刘

新虫 (小有名气)
内容已删除
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4楼2021-11-19 22:23:43
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lithofab

新虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

ITO薄膜线路可以不用光刻来做，直接强激光来加工线路。
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5楼2021-11-23 08:32:53
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Cjg8814

铜虫 (初入文坛)
想加工个几微米的电极间距，激光没找到可以这么小的

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6楼2021-11-23 09:49:12
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hitsz_li

铁虫 (初入文坛)
先排查一下粘附性有没有问题，其次考虑一下有没有可能薄膜与碱液反应（显影液）
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7楼2021-11-25 10:53:40
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MEMSlee

捐助贵宾 (著名写手)

【答案】应助回帖

你这个前烘温度和时间都不对的‘还有反转后烘烤时间温度都不对的。做出来这样是正常的
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8楼2021-11-28 13:15:38
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stellaintl

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

两个方面考虑一下：第一就是ITO的粘附性，第二如友们说的，前烘和后烘的参数不太合适
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4Pico激光直写致力于高精度的微纳米结构的加工
9楼2021-12-07 15:22:35
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烦躁的人生

新虫 (小有名气)
如需代工可以联系我，13299909760
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10楼2022-01-04 14:07:56
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