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Cjg8814

铜虫 (初入文坛)

[求助] 用AZ5214光刻胶,在ITO上光刻不上,哪位大神可以指点一下吗 已有5人参与

工艺是500转速10s,4000转速50s,
烘烤110℃3min,
掩膜曝光1.2s,(10mw/cm2)
烘烤125℃2min10s,
裸曝光22s,
显影36s

玻璃上还好,ito上就刻不上了

用AZ5214光刻胶,在ITO上光刻不上,哪位大神可以指点一下吗


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烦躁的人生

新虫 (小有名气)

如需代工可以联系我,13299909760
10楼2022-01-04 14:07:56
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查看全部 12 个回答

济南创科

新虫 (初入文坛)

2楼2021-11-18 22:28:55
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Cjg8814

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 济南创科 at 2021-11-18 22:28:55
正胶用还是反转用

反胶用的

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3楼2021-11-19 11:04:29
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lithofab

新虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

ITO薄膜线路可以不用光刻来做,直接强激光来加工线路。
5楼2021-11-23 08:32:53
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