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用AZ5214光刻胶，在ITO上光刻不上，哪位大神可以指点一下吗已有5人参与
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工艺是500转速10s，4000转速50s， 烘烤110℃3min， 掩膜曝光1.2s，（10mw/cm2） 烘烤125℃2min10s， 裸曝光22s， 显影36s 玻璃上还好，ito上就刻不上了  发自小木虫Android客户端 |
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济南创科
新虫 (初入文坛)
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2楼2021-11-18 22:28:55
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lithofab
新虫 (正式写手)
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5楼2021-11-23 08:32:53
6楼2021-11-23 09:49:12
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10楼2022-01-04 14:07:56