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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射沉积氧化铜薄膜发生皲裂
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wxy123p

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射沉积氧化铜薄膜发生皲裂

请问各位大佬，最近磁控溅射金属铜靶，沉积氧化铜薄膜在氧化硅上，马弗炉退火后会发生皲裂，脱落现象，很随机，同样的参数做两批片子有不同的结果，降低退火温度并无明显改善，之前做了两个月没有发现这种现象，请问有大佬知道怎么回事吗？

磁控溅射沉积氧化铜薄膜发生皲裂


磁控溅射沉积氧化铜薄膜发生皲裂-1


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1楼 2021-10-18 21:03:34
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野人禾禾

金虫 (正式写手)
溅射的时候通点氧试试
赞一下 回复此楼
擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
3楼2021-10-19 10:39:41
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匿名

本帖仅楼主可见
2楼2021-10-19 00:03:44
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