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wxy123p

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射沉积氧化铜薄膜发生皲裂

请问各位大佬,最近磁控溅射金属铜靶,沉积氧化铜薄膜在氧化硅上,马弗炉退火后会发生皲裂,脱落现象,很随机,同样的参数做两批片子有不同的结果,降低退火温度并无明显改善,之前做了两个月没有发现这种现象,请问有大佬知道怎么回事吗?

磁控溅射沉积氧化铜薄膜发生皲裂


磁控溅射沉积氧化铜薄膜发生皲裂-1


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野人禾禾

金虫 (正式写手)

溅射的时候通点氧试试
擅长薄膜材料工艺,欢迎交流captain0119
3楼2021-10-19 10:39:41
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匿名

本帖仅楼主可见
2楼2021-10-19 00:03:44
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