| 查看: 601 | 回复: 2 | ||
| 【悬赏金币】回答本帖问题，作者wxy123p将赠送您 15 个金币 | ||
[求助]
磁控溅射沉积氧化铜薄膜发生皲裂
|
||
请问各位大佬，最近磁控溅射金属铜靶，沉积氧化铜薄膜在氧化硅上，马弗炉退火后会发生皲裂，脱落现象，很随机，同样的参数做两批片子有不同的结果，降低退火温度并无明显改善，之前做了两个月没有发现这种现象，请问有大佬知道怎么回事吗？  发自小木虫Android客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
太原科技大学材料科学与工程学院“03高性能轻质合金及新能源材料”学硕与专硕有缺额
已经有0人回复
-
太原科技大学材料科学与工程学院“03高性能轻质合金及新能源材料”方向有调剂名额
已经有0人回复
-
无机非金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有84人回复
-
辽宁工程技术大学材料科学与工程、储能科学与工程、材料与化工专业接收调剂，名额充足
已经有0人回复
-
辽宁工程技术大学材料科学与工程接收调剂，目前还有名额，欢迎报考
已经有0人回复
-
光刻胶研发
已经有1人回复
-
Feature Paper Invitation [Materials] (IF: 3.2, CiteScore: 6.4) 征稿
已经有25人回复
-
吸波粉体电磁参数模具加工
已经有0人回复
-
求助低温等离子渗氮
已经有0人回复
-
小木虫没落了，除了祈祷帖子，几乎看不到有价值的帖子
已经有19人回复
 本帖仅楼主可见 |
2楼2021-10-19 00:03:44
3楼2021-10-19 10:39:41
