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新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射沉积氧化铜薄膜发生皲裂

请问各位大佬，最近磁控溅射金属铜靶，沉积氧化铜薄膜在氧化硅上，马弗炉退火后会发生皲裂，脱落现象，很随机，同样的参数做两批片子有不同的结果，降低退火温度并无明显改善，之前做了两个月没有发现这种现象，请问有大佬知道怎么回事吗？

1楼 2021-10-18 21:03:34

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2楼2021-10-19 00:03:44

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金虫 (正式写手)

溅射的时候通点氧试试

擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119

3楼2021-10-19 10:39:41

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