| 查看: 666 | 回复: 2 | ||
| 【悬赏金币】回答本帖问题，作者wxy123p将赠送您 15 个金币 | ||
[求助]
磁控溅射沉积氧化铜薄膜发生皲裂
|
||
请问各位大佬，最近磁控溅射金属铜靶，沉积氧化铜薄膜在氧化硅上，马弗炉退火后会发生皲裂，脱落现象，很随机，同样的参数做两批片子有不同的结果，降低退火温度并无明显改善，之前做了两个月没有发现这种现象，请问有大佬知道怎么回事吗？  发自小木虫Android客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
27 博士申请
已经有25人回复
-
Data征稿（EI检索收录），选题方向：环境风险管理的数据分析
已经有106人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有233人回复
-
Polymers 期刊特刊 组稿
已经有101人回复
-
2027陕西省科技项目合作征集
已经有0人回复
-
求助，如何处理多孔碳材料才能拍出分散好的粉末SEM照片？
已经有5人回复
-
征稿：Data（EI工程索引、ESCI中科院四区）；主题：面向环境风险管理的数据分析；
已经有103人回复
-
碳包裹氧化铝粉
已经有2人回复
 本帖仅楼主可见 |
2楼2021-10-19 00:03:44
3楼2021-10-19 10:39:41