应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射沉积氧化铜薄膜发生皲裂
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
31/1返回列表
查看: 537  |  回复: 2
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
【悬赏金币】回答本帖问题，作者wxy123p将赠送您 15 个金币

wxy123p

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射沉积氧化铜薄膜发生皲裂

请问各位大佬，最近磁控溅射金属铜靶，沉积氧化铜薄膜在氧化硅上，马弗炉退火后会发生皲裂，脱落现象，很随机，同样的参数做两批片子有不同的结果，降低退火温度并无明显改善，之前做了两个月没有发现这种现象，请问有大佬知道怎么回事吗？

磁控溅射沉积氧化铜薄膜发生皲裂


磁控溅射沉积氧化铜薄膜发生皲裂-1


发自小木虫Android客户端
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2021-10-18 21:03:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

匿名

本帖仅楼主可见
2楼2021-10-19 00:03:44
已阅   申请MEPI   回复此楼   编辑   查看我的主页

野人禾禾

金虫 (正式写手)
溅射的时候通点氧试试
赞一下 回复此楼
擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
3楼2021-10-19 10:39:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 wxy123p 的主题更新
31/1返回列表
不应助 确定回帖应助 (注意：应助才可能被奖励，但不允许灌水，必须填写15个字符以上)
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 0703调剂 +10 拾玖壹 2026-04-04 11/550 2026-04-05 09:48 by MinkyXMQ
[考研] 材料调剂 +11 一样YWY 2026-04-02 13/650 2026-04-04 23:10 by 无际的草原
[考研] 278求调剂 +14 范婷娜 2026-04-04 15/750 2026-04-04 22:15 by lqwchd
[考研] 怎么删帖子啊 +3 缝曦1000 2026-04-04 3/150 2026-04-04 14:20 by 土木硕士招生
[考研] 一志愿南昌大学324求调剂 +9 hanamiko 2026-03-30 9/450 2026-04-04 11:04 by 猪会飞
[考研] 281求调剂 +10 aaawhy 2026-04-03 10/500 2026-04-03 21:42 by lbsjt
[考研] 336求调剂 +8 kiyy 2026-04-01 8/400 2026-04-03 19:41 by lijunpoly
[考研] 303求调剂 +10 DLkz1314. 2026-03-30 10/500 2026-04-03 18:03 by Jimmyandyou
[考研] 085801 总分275 本科新能源 求调剂 +19 bradoner 2026-04-01 23/1150 2026-04-03 10:07 by linyelide
[考研] 一志愿厦门大学材料工程专硕354找调剂！！！ +8 贝呗钡钡 2026-03-30 8/400 2026-04-03 09:41 by hypershenger
[考研] 材料专业求调剂 +10 月月鸟木 2026-04-01 10/500 2026-04-02 12:57 by wxiongid
[考研] 261求B区调剂 +5 明仔· 2026-04-01 7/350 2026-04-02 11:17 by 邹尉尉
[考研] 279求调剂 +6 学而思兮知 2026-04-01 6/300 2026-04-02 09:16 by vgtyfty
[考研] 土木304求调剂 +6 兔突突突， 2026-03-31 7/350 2026-04-02 09:06 by coolminer
[考研] 085410 一志愿211 22408分数359求调剂 +3 123456789qw 2026-03-31 4/200 2026-04-02 00:06 by 义文wang
[考研] 298求调剂 +4 什么是胖头鱼 2026-03-30 6/300 2026-04-01 22:06 by 客尔美德
[考研] 379求调剂 +3 ?苦瓜不苦 2026-04-01 3/150 2026-04-01 20:09 by 暮云清寒
[考研] 生物与医药考研调剂 +5 铁憨憨123425 2026-03-31 5/250 2026-04-01 18:01 by syh9288
[考研] 复试调剂 +7 双马尾痞老板2 2026-03-31 7/350 2026-03-31 19:49 by Dyhoer
[考研] 江苏苏北高校诚邀调剂同学 +3 zzll406 2026-03-31 3/150 2026-03-31 16:54 by 及时行乐fan
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭