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wxy123p

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 22
帖子: 8
在线: 1小时
虫号: 27543633
注册: 2021-10-15

[求助] 磁控溅射沉积氧化铜薄膜发生皲裂

请问各位大佬，最近磁控溅射金属铜靶，沉积氧化铜薄膜在氧化硅上，马弗炉退火后会发生皲裂，脱落现象，很随机，同样的参数做两批片子有不同的结果，降低退火温度并无明显改善，之前做了两个月没有发现这种现象，请问有大佬知道怎么回事吗？

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1楼 2021-10-18 21:03:34

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匿名

应助: (幼儿园)
在线:
虫号: 0

本帖仅楼主可见

2楼2021-10-19 00:03:44

已阅申请MEPI 回复此楼编辑查看我的主页

野人禾禾

金虫 (正式写手)

应助: 62 (初中生)
金币: 1285
红花: 16
帖子: 317
在线: 374.5小时
虫号: 1370716
注册: 2011-08-17
性别: GG
专业: 其他无机非金属材料

溅射的时候通点氧试试

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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119

3楼2021-10-19 10:39:41

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

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