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clwang

木虫 (正式写手)

[交流] 帮下忙

ITO薄膜作为PTCDA/Si--有机/无机光电探测器的阳极时，衬底材料为不耐高温的有机物，ITO薄膜需在低温下淀积。本文通过射频磁控溅射在玻璃衬底表面淀积ITO透明导电薄膜，通过四探针和紫外可见-近红外光谱试仪分别测量薄膜的导电性、透光率。实验结果表明：随着溅射过程压力的升高，薄膜的透过率和电阻率都会逐渐变差；随着溅射功率的增大，薄膜的电阻率会变好但是透过率会变差；氧气分压的增加虽然在一定程度上有助于薄膜透过率的提高，同时导致薄膜的电阻率的增加；但对薄膜进行高温下的退火则会很好的降低薄膜的电阻率。结论：在低温下制备ITO薄膜的优化工艺条件为：溅射气压为0.45Pa，功率为45W，溅射时以氧气作为反应气体，不需对成品器件进行退火处理。
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努力，努力，再努力。
1楼 2009-08-10 09:37:53
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monitor2885

至尊木虫 (知名作家)

队长

done

Conclusion: under low temperature optimized conditions for preparation of ITO film are as follows: sputtering pressure of 0.45Pa, power of 45W, oxygen as reactive gas when sputtering, negligible annealing treatment for finished devices.
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Retirement
7楼2009-08-11 16:21:32
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wangkt

木虫 (正式写手)
★ ★ ★ ★ ★
clwang(金币+5,VIP+0):非常感谢关注 8-10 20:02
顶一下，类似的问题见过，楼主搜一下
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2楼2009-08-10 10:54:09
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clwang

木虫 (正式写手)

大家帮帮忙

如题，大家帮帮忙，急用
赞一下 回复此楼
努力，努力，再努力。
3楼2009-08-10 15:42:55
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wangkt

木虫 (正式写手)
When ITO membrane as anode of PTCDA/Si--organic\inorganic photoelectricity detector,underlay  materials are organic which don't apply to hight temperature,ITO membrane need to illuviation under low temperature .This paper use the radio
抱歉专业词汇太多了，翻译不好了，明天再翻
赞一下 回复此楼
4楼2009-08-11 01:18:20
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