| 查看: 1562 | 回复: 10 | |||
| 当前主题已经存档。 | |||
tzhnet木虫 (正式写手)
|
[交流]
【请教】取向生长
|
||
|
本人有个小小的 概念搞的不是很明白， 再此向大家请教一下： 做薄膜材料的时候，薄膜式沉积在衬底上的，沉积是要分物理沉积和化学沉积，也就是物理吸附和化学吸附。 问题：薄膜在衬底上取向生长，应该是 物理吸附还是化学吸附，薄膜的取向生长，列如：si（001）面取向生长，代表什么意思 。 这种趋向生长和材料的那些性能有关系， 和材料的极化有关系吗？电学性能呢？ 谢谢 |
回复此楼» 猜你喜欢
353求调剂
已经有7人回复
-
求调剂
已经有7人回复
-
材料化工306分找合适调剂
已经有11人回复
-
调剂
已经有8人回复
-
工科求调剂
已经有13人回复
-
复试调剂
已经有5人回复
-
一志愿北京化工085600 310分求调剂
已经有11人回复
-
一志愿北京2，材料与化工308求调剂
已经有10人回复
-
0817化学工程与技术求调剂，一志愿中海洋319
已经有9人回复
-
一志愿电子科技大学085600材料与化工 329分求调剂
已经有6人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
tplee_hb
铜虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 791.9
- 帖子: 299
- 在线: 151.7小时
- 虫号: 830583
- 注册: 2009-08-19
- 专业: 金属材料的制备科学与跨学
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
|
同意以上各楼意见。关于 薄膜的择优取向 1。对于有取向 的基体，条件合适的话，薄膜会外延基体的取向； 2。没有明显取向的基体，如果有足够结晶能量，薄膜通常会选择能量较低的简单米勒指数面作为择优生长方向。立方晶体，通常是111面，六方晶体通常是0001面； 3。膜的晶体取向会随着薄膜厚度的变化有所变化。对于立方晶薄膜，可能初始时，111取向，随膜厚增加，可能逐渐变为100取向，甚至110取向，到最后会演变成没有明显择优取向； 4。膜的晶体取向还会随着沉积条件，也就是沉积粒子的能量的变化而变化。沉积粒子能量很低时，可能无法结晶，为非晶膜，能量足够高时，出现晶态，首先是能量最低的111面取向，能量再高会出现100取向，再高110取向也会出现 5。膜的晶体取向还会随着基体温度有所变化。 膜的择优取向的变化，实际上就是一个能量的变化的问题，膜能够充分利用自己的能量进行结构的构置 |
10楼2009-09-07 10:03:57
★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
闪闪红心(金币+2,VIP+0):谢谢 9-5 13:58
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
闪闪红心(金币+2,VIP+0):谢谢 9-5 13:58
|
本帖内容被屏蔽 |
2楼2009-08-07 10:57:24
3楼2009-08-07 13:17:19
tzhnet
木虫 (正式写手)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 2266.4
- 散金: 169
- 红花: 3
- 帖子: 341
- 在线: 95.5小时
- 虫号: 707324
- 注册: 2009-02-24
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
4楼2009-08-07 21:11:55
liugang66
铁杆木虫 (职业作家)
小鸟伯德
- 应助: 0 (幼儿园)
- 贵宾: 0.01
- 金币: 8492.5
- 红花: 2
- 帖子: 4291
- 在线: 43.6小时
- 虫号: 449165
- 注册: 2007-11-02
- 性别: GG
- 专业: 光学信息获取与处理
5楼2009-08-07 21:13:19
6楼2009-09-04 16:10:52
xutaoweiyi
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1031.2
- 散金: 25
- 帖子: 95
- 在线: 26.1小时
- 虫号: 839110
- 注册: 2009-09-03
- 性别: GG
- 专业: 零件加工制造
7楼2009-09-05 10:21:53
caoxiafei
专家顾问 (著名写手)
研发工程师-Topcon/HJT电池
-
专家经验: +112 - 应助: 184 (高中生)
- 贵宾: 0.018
- 金币: 5050
- 散金: 6
- 红花: 23
- 帖子: 1217
- 在线: 434.2小时
- 虫号: 832355
- 注册: 2009-08-22
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
- 管辖: 功能材料
8楼2009-09-05 13:52:00
wudong863
金虫 (小有名气)
Coatingtech
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1535.1
- 散金: 7
- 帖子: 279
- 在线: 89.4小时
- 虫号: 261831
- 注册: 2006-06-24
- 性别: GG
- 专业: 粘合剂
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
|
PVD，CVD不是指的在衬底表面的吸附方式。而是指成膜方式，如溅射，蒸镀，都是采用物理的方法将原子或者分子“赶出”靶材在基片沉膜，入ALD,MBE,PECVD都是指通入两种反应气体反应成膜，而SOL-GEL也是化学的过程制备前驱体，然后退火除去不必要的元素成膜。 膜与衬底之间的生长方式有层状，岛状，层+岛状，这些生长方式决定了他们的膜的生长取向。 而非晶与晶态一要看膜是否获得了足够的晶化能量，决定是晶态还是非晶态，二要生长过程中产生的缺陷等等，决定了单晶膜还是多晶膜。 至于材料本身的性能则要看在哪种结构与形态下你所需要的性能能达到最好，而无定论。 若要了解更多的薄膜技术的知识欢迎到 http://bbs.coatingdata.com/index.aspx，下载资料 |
9楼2009-09-05 19:37:34
