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tzhnet木虫 (正式写手)
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[交流]
【请教】取向生长
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本人有个小小的 概念搞的不是很明白， 再此向大家请教一下： 做薄膜材料的时候，薄膜式沉积在衬底上的，沉积是要分物理沉积和化学沉积，也就是物理吸附和化学吸附。 问题：薄膜在衬底上取向生长，应该是 物理吸附还是化学吸附，薄膜的取向生长，列如：si（001）面取向生长，代表什么意思 。 这种趋向生长和材料的那些性能有关系， 和材料的极化有关系吗？电学性能呢？ 谢谢 |
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tplee_hb
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同意以上各楼意见。关于 薄膜的择优取向 1。对于有取向 的基体，条件合适的话，薄膜会外延基体的取向； 2。没有明显取向的基体，如果有足够结晶能量，薄膜通常会选择能量较低的简单米勒指数面作为择优生长方向。立方晶体，通常是111面，六方晶体通常是0001面； 3。膜的晶体取向会随着薄膜厚度的变化有所变化。对于立方晶薄膜，可能初始时，111取向，随膜厚增加，可能逐渐变为100取向，甚至110取向，到最后会演变成没有明显择优取向； 4。膜的晶体取向还会随着沉积条件，也就是沉积粒子的能量的变化而变化。沉积粒子能量很低时，可能无法结晶，为非晶膜，能量足够高时，出现晶态，首先是能量最低的111面取向，能量再高会出现100取向，再高110取向也会出现 5。膜的晶体取向还会随着基体温度有所变化。 膜的择优取向的变化，实际上就是一个能量的变化的问题，膜能够充分利用自己的能量进行结构的构置 |
10楼2009-09-07 10:03:57
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2楼2009-08-07 10:57:24
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liugang66
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5楼2009-08-07 21:13:19
