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tzhnet

木虫 (正式写手)

[交流] 【请教】取向生长

本人有个小小的 概念搞的不是很明白,
再此向大家请教一下:
    做薄膜材料的时候,薄膜式沉积在衬底上的,沉积是要分物理沉积和化学沉积,也就是物理吸附和化学吸附。
    问题:薄膜在衬底上取向生长,应该是 物理吸附还是化学吸附,薄膜的取向生长,列如:si(001)面取向生长,代表什么意思 。
      这种趋向生长和材料的那些性能有关系,
   和材料的极化有关系吗?电学性能呢?
  谢谢
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鱼儿6826

新虫 (小有名气)

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闪闪红心(金币+1,VIP+0):谢谢 9-5 13:58
不能单纯说是何种吸附,要看你一用何种方式镀膜了。如果采用的物理沉积技术,如物理气相沉积,则在衬底上生长的薄膜是物理饿,如果是化学汽相淀积,则是化学的,不过一般都是基片不与沉积材料反映,所以大多是物理吸附吧。
取向生长是指择优生长的,即沿着易于生长薄膜的方向生长薄膜,si(001)面指在该晶面上生长较快。这种趋向生长与基体材料的晶体结构有关。与材料 的极化和电性能没有直接的关系。
6楼2009-09-04 16:10:52
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lss1073

禁虫 (正式写手)

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闪闪红心(金币+2,VIP+0):谢谢 9-5 13:58
本帖内容被屏蔽

2楼2009-08-07 10:57:24
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zhuzhen

木虫 (正式写手)

★ ★
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闪闪红心(金币+1,VIP+0):谢谢 9-5 13:58
ls回答的很好,两个不是一个概念。有化学键参加的一般是化学吸附。对于同质外延按原有取向,异质外延除了能量最低还和晶格匹配有关。
3楼2009-08-07 13:17:19
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liugang66

铁杆木虫 (职业作家)

小鸟伯德


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???????:
Originally posted by lss1073 at 2009-8-7 10:57:
1. ????(absorption)???thin film deposition??????????h??, ??????f:???????e(PVD)?K?????????????, ???W???e(CVD)???????????W????
2. PVD?cCVD???a??thin film???????L;????:????????(001)Si??su ...

????
有梦就有力量,有心就会成功!
5楼2009-08-07 21:13:19
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