24小时热门版块排行榜    

查看: 1221  |  回复: 4
【悬赏金币】回答本帖问题,作者tt66tt55将赠送您 5 个金币
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

tt66tt55

捐助贵宾 (初入文坛)

[求助] 使用202负胶后镀Cr的lift-off工艺中Cr两侧长墙大家有遇到过吗?有解决方法吗? 已有1人参与

在硅片基底上用正胶+lor(1um)做的光刻,线宽10um,然后镀100nm的Cr剥离,用SEM观测发现所镀Cr两边的侧壁长出了一道墙,像是延光刻胶长出来,不知道有没有解决方法。
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

逐步成长

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

10um线宽已经够大的了,直接单层正胶就可以了
5楼2021-01-12 15:26:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答

babyoflion

金虫 (著名写手)

这个不是很普通的剥离工艺么?还至于用到双层胶?

发自小木虫Android客户端
2楼2020-12-25 11:34:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

tt66tt55

捐助贵宾 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by babyoflion at 2020-12-25 11:34:59
这个不是很普通的剥离工艺么?还至于用到双层胶?

大线宽可以用负胶解决,小线宽只能用这种工艺。大线宽有这类问题现在小线宽也不敢做了。
3楼2020-12-28 16:38:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

babyoflion

金虫 (著名写手)

好吧,你想要小线宽是多小?10u随便做啊

发自小木虫Android客户端
4楼2020-12-28 17:53:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
不应助 确定回帖应助 (注意:应助才可能被奖励,但不允许灌水,必须填写15个字符以上)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 334求调剂 +3 mjqzz 2026-03-06 3/150 2026-03-11 20:38 by 清风月
[考研] 一志愿浙江大学0856材料与化工求调剂 +3 yansheng@211 2026-03-09 4/200 2026-03-11 10:52 by @飒飒飒飒
[考研] 081200计算机科学与技术数一英一306求调剂 +3 intankt 2026-03-08 3/150 2026-03-11 10:50 by dandan413
[考研] 求调剂 +4 鹤遨予卿 2026-03-09 4/200 2026-03-11 10:47 by @飒飒飒飒
[考研] 调剂 +5 呵唔哦豁 2026-03-10 5/250 2026-03-10 22:00 by 28375m
[考研] 308求调剂 +4 是Lupa啊 2026-03-08 7/350 2026-03-10 18:25 by 清风月
[考研] 08工科 +5 li李乐成 2026-03-06 5/250 2026-03-10 14:51 by 在风落中
[考研] 327分求调剂086 +4 西红柿?小帅 2026-03-09 7/350 2026-03-10 14:47 by ruiyingmiao
[考研] 调剂的同学,走过路过,不要错过 +11 likeihood 2026-03-06 16/800 2026-03-10 11:38 by Djdjj12
[考研] 295复试调剂 +4 简木ChuFront 2026-03-09 4/200 2026-03-09 21:49 by wangjihu
[考研] 求0856调剂 +5 小力气珂珂 2026-03-08 5/250 2026-03-09 06:42 by houyaoxu
[考研] 考研求调剂,工科,总分304 +4 矮子不想长高了 2026-03-08 7/350 2026-03-08 22:21 by 小木虫tim
[考研] 调剂 +3 13853210211 2026-03-08 3/150 2026-03-08 19:34 by ms629
[考研] 346分材料求调剂 +5 snow_反季节版 2026-03-07 5/250 2026-03-07 22:40 by Leeding1356
[考研] 一志愿中国石油大学(华东) 本科齐鲁工业大学 求调剂 +3 snw石 2026-03-07 3/150 2026-03-07 20:01 by houyaoxu
[考研] 诚求调剂,323分 有专利/科研/实习经历 +6 橙子cyx 2026-03-06 8/400 2026-03-07 19:06 by 新篇章DFSS
[考研] 2026调剂】考试A区0703化学类323分 诚求接收 +3 卷柏卷柏 2026-03-05 4/200 2026-03-07 17:00 by yuandd_2001
[考研] 求调剂 +4 呼呼?~+123456 2026-03-06 4/200 2026-03-06 23:11 by L135790
[考研] 材料调剂 +5 ws 上岸鸭 2026-03-05 5/250 2026-03-05 20:06 by houyaoxu
[考研] 376求调剂 +3 王浩然sam 2026-03-04 3/150 2026-03-05 07:48 by bxbo
信息提示
请填处理意见