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tt66tt55

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[求助] 使用202负胶后镀Cr的lift-off工艺中Cr两侧长墙大家有遇到过吗?有解决方法吗?已有1人参与

在硅片基底上用正胶+lor(1um)做的光刻,线宽10um,然后镀100nm的Cr剥离,用SEM观测发现所镀Cr两边的侧壁长出了一道墙,像是延光刻胶长出来,不知道有没有解决方法。
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babyoflion

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tt66tt55

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babyoflion

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