【答案】应助回帖

perry_ping

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有些光刻胶不需要涂底胶，也看你做什么

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3楼2020-12-05 07:43:55

2073266459

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4楼2020-12-09 16:24:06

jttr9319

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
草青黄尘飞: 金币+5, ★★★很有帮助 2020-12-21 12:43:08

就算你是做器件，一般硫酸双氧水3:1煮沸就可足够满足使用需求了。我们以前直接新的硅片放等离子清洗适当功率1分钟左右，直接涂胶就可以，很牢固的

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5楼2020-12-09 20:29:22

thegarfield

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涂胶前保证有机清洗即可，另外需要热处理脱水，HMDS是默认操作，增加粘附力，没什么讲究

6楼2021-01-09 21:02:46

mycro

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具体看你做什么应用吧。硅片涂胶前还可以用等离子气清洗，紫外臭氧清洗设备等进行清洗。

迈可诺公司全称“迈可诺技术有限公司”，英文简称“MYCRO”。这是一家富有创新精神的国际化高科技公司，专业提供光电半导体化工实验室所需设备耗材的全套解决方

7楼2021-01-27 16:41:30

2073266459

铁虫 (初入文坛)

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8楼2021-03-03 11:38:08

xrq0525

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6楼: Originally posted by thegarfield at 2021-01-09 21:02:46
涂胶前保证有机清洗即可，另外需要热处理脱水，HMDS是默认操作，增加粘附力，没什么讲究

您好，请问涂底胶是在常温下涂吗，用匀胶机吗？

9楼2021-07-09 14:54:45

xrq0525

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6楼: Originally posted by thegarfield at 2021-01-09 21:02:46
涂胶前保证有机清洗即可，另外需要热处理脱水，HMDS是默认操作，增加粘附力，没什么讲究

不好意思，我又查了下资料，是用蒸汽涂胶吧，那需要什么专门的设备吗？

10楼2021-07-09 14:59:04