应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 晶体解析 » 二氧化碲磁控溅射镀金，超30nm就脱离，怎么搞?
51/1返回列表
查看: 1937  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
【悬赏金币】回答本帖问题，作者古迹将赠送您 20 个金币

古迹

金虫 (小有名气)

[求助] 二氧化碲磁控溅射镀金，超30nm就脱离，怎么搞?

利用磁控溅射在二氧化碲晶体表面镀金，以铬做缓冲层，厚度大概在20nm左右，工作气压在3.4  -1左右，工作电流时0.8A，镀金时，厚度超过30nm，牢固度就变差，用胶带一撕就成片脱落，在此条件下，试过在玻璃上镀金，还挺牢的，就是在二氧化碲晶体上就不牢，容易脱落，不知道是不是打底层选的不好，诸位大牛有没有做过的，给点建议。
以前用热蒸发做过二氧化碲镀金，以铬做打底层，高温蒸镀是可以镀上的。
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2020-11-24 09:23:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

池州学子

木虫 (小有名气)
首先你要确认你膜层脱落是从铬层还是衬底脱落，但根据你的描述，大概率是从衬底脱落，那你就可以从改变衬底温度（升高温度）、改变缓冲层厚度（减小应力）、衬底洁净度、缓冲层材料设计（钛、氧化锆等）、离子源轰击等几个方向着手；
赞一下 回复此楼
2楼2020-12-08 10:39:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

古迹

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 池州学子 at 2020-12-08 10:39:19
首先你要确认你膜层脱落是从铬层还是衬底脱落，但根据你的描述，大概率是从衬底脱落，那你就可以从改变衬底温度（升高温度）、改变缓冲层厚度（减小应力）、衬底洁净度、缓冲层材料设计（钛、氧化锆等）、离子源轰击 ...

是从衬底开始脱落的。换了一个镍铬合金靶作缓冲层，同时减小溅射电流，增加溅射时间，还是镀厚到30~40nm，就脱落了。
离子轰击也试过多次，轰击电流从80~400mA都试过，效果都不明显，还把轰击棒融了一个，晕死。
基底的清洁一般是汽油清洗擦拭一编，丙酮擦拭一遍，之前真空蒸镀的前处理都是这么操作的。
为了减小应力，一般缓冲层应该镀薄点，还是镀厚点？
赞一下 回复此楼
3楼2020-12-14 17:28:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

池州学子

木虫 (小有名气)
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
sty112: 金币+10 2021-01-16 14:28:44
引用回帖:
3楼: Originally posted by 古迹 at 2020-12-14 17:28:13
是从衬底开始脱落的。换了一个镍铬合金靶作缓冲层，同时减小溅射电流，增加溅射时间，还是镀厚到30~40nm，就脱落了。
离子轰击也试过多次，轰击电流从80~400mA都试过，效果都不明显，还把轰击棒融了一个，晕死。
...

缓冲层一般不宜太厚，需要薄点；试一试衬底加热，再不行，多试几种打底材料
赞一下 回复此楼
4楼2021-01-07 15:39:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

众诚新材

新虫 (初入文坛)
这种情况没遇到过

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
5楼2021-05-23 19:41:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 古迹 的主题更新
51/1返回列表
不应助 确定回帖应助 (注意：应助才可能被奖励，但不允许灌水，必须填写15个字符以上)
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 让我中一个面上吧！ +12 大萍1987 2026-08-20 15/750 2026-08-23 20:44 by 大萍1987
[基金申请] 2026年的国家社科基金项目通讯评审的新规则与新动向、新挑战 +4 process2012 2026-08-23 5/250 2026-08-23 19:58 by jurkat.1640
[基金申请] 93BebMhtakh前后11位开头都是大写 +7 且听虎啸 2026-08-17 8/400 2026-08-22 21:55 by 医学老男孩
[基金申请] 范进中举一文的中心思想 +3 炎黄贵胄 2026-08-22 4/200 2026-08-22 20:02 by mycsru
[基金申请] filecode，4个jtjc了 +13 ziyangfang 2026-08-19 16/800 2026-08-22 17:08 by WH3796
[基金申请] 人气不行了 +8 fansofjerry 2026-08-21 8/400 2026-08-22 16:30 by zyqchem
[基金申请] 今天基金会出结果吗？20260819 +16 kkkl_v 2026-08-19 17/850 2026-08-22 16:12 by 阿布Abu
[基金申请] 时间戳今天，20号变了 +5 archvillain 2026-08-20 5/250 2026-08-22 06:12 by hui_daxiao
[基金申请] 放榜前的不淡定 40+4 snowwithsea 2026-08-19 14/700 2026-08-21 23:51 by cratir
[基金申请] 建议基金发布提前给出明确的时间点 +10 kulium 2026-08-21 13/650 2026-08-21 21:58 by alongwaytogo
[基金申请] 科研孤儿太难了 +17 我4大白菜 2026-08-20 18/900 2026-08-21 20:57 by zhangev
[基金申请] 感觉是下周放榜了 +7 angus9576 2026-08-17 12/600 2026-08-21 13:38 by weiyin
[论文投稿] 投稿咨询 +5 wwm09 2026-08-17 7/350 2026-08-21 10:11 by 期刊论文帮手
[基金申请] 今天放榜没戏了吧 +9 yuleib84 2026-08-19 11/550 2026-08-21 10:06 by gltch
[基金申请] 估计是周四 +3 archvillain 2026-08-18 3/150 2026-08-21 01:48 by jnhyjjm
[基金申请] 时间戳变了，能看出什么问题？ +18 基诺咪客 2026-08-17 23/1150 2026-08-20 17:19 by Godzela
[基金申请] 重要消息，中午系统在维护 +11 yuleib84 2026-08-18 12/600 2026-08-20 11:09 by xskun
[基金申请] 朋友圈看到的 +6 wangzilk 2026-08-18 8/400 2026-08-19 10:55 by Haru815
[基金申请] 明天放榜？ +5 Shxjjxjkx 2026-08-18 5/250 2026-08-18 18:14 by -大大大大大-
[基金申请] 今天维护系统维护 祝所有人 高中 +8 gjjjzhong 2026-08-18 9/450 2026-08-18 13:01 by 家与远方
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭