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光的速度

银虫 (正式写手)

[交流] 【求助】非晶碳氮膜

磁控溅射设备熟悉吗 我用的是沈阳厂的设备,我想请问,刚买的设备为度碳氮膜时候表面出现不均匀,颜色不一致 而用同样的工艺镀别的膜表面却是一致的,只是多通了一种氮气气体而已为何出现这情况
薄膜表面出现圆弧状一段弧分开薄膜, 分开的几部分颜色不一样 ,调整了气压,氮气流量,和偏压 ,溅射功率,还是有如此情况,

如有人熟悉情况,谢谢你相告下 谢谢  真诚感谢
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

★ ★
光的速度(金币+1,VIP+0):你好 可以告诉我一些相关的解决方案吗 ?谢谢你 7-21 10:37
bio-polymer(金币+1,VIP+0):积极回复,谢谢! 7-21 12:48
最可疑的是薄膜厚度不均匀;其次是成分不均匀。
没有困难创造困难也要上网。
2楼2009-07-20 20:15:54
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