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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 前沿热点 » 【求助】非晶碳氮膜
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光的速度

银虫 (正式写手)

[交流] 【求助】非晶碳氮膜

磁控溅射设备熟悉吗 我用的是沈阳厂的设备，我想请问，刚买的设备为度碳氮膜时候表面出现不均匀，颜色不一致 而用同样的工艺镀别的膜表面却是一致的，只是多通了一种氮气气体而已为何出现这情况
薄膜表面出现圆弧状一段弧分开薄膜， 分开的几部分颜色不一样 ，调整了气压，氮气流量，和偏压 ，溅射功率，还是有如此情况，

如有人熟悉情况，谢谢你相告下 谢谢  真诚感谢
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1楼 2009-07-20 18:29:10
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙
★ ★
光的速度(金币+1,VIP+0):你好 可以告诉我一些相关的解决方案吗 ？谢谢你 7-21 10:37
bio-polymer(金币+1,VIP+0):积极回复，谢谢！ 7-21 12:48
最可疑的是薄膜厚度不均匀；其次是成分不均匀。
赞一下(12人) 回复此楼
没有困难创造困难也要上网。
2楼2009-07-20 20:15:54
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