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[交流]
【求助】非晶碳氮膜
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磁控溅射设备熟悉吗 我用的是沈阳厂的设备，我想请问，刚买的设备为度碳氮膜时候表面出现不均匀，颜色不一致 而用同样的工艺镀别的膜表面却是一致的，只是多通了一种氮气气体而已为何出现这情况 薄膜表面出现圆弧状一段弧分开薄膜， 分开的几部分颜色不一样 ，调整了气压，氮气流量，和偏压 ，溅射功率，还是有如此情况， 如有人熟悉情况，谢谢你相告下 谢谢 真诚感谢 |
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