应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 无机/物化 » 物理化学 » 溅射陶瓷薄膜，陶瓷靶材致密度是不是越高好？
61/1返回列表
查看: 1729  |  回复: 5
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
【有奖交流】积极回复本帖子，参与交流，就有机会分得作者 东东那个东 的 50 个金币

东东那个东

金虫 (正式写手)

[交流] 溅射陶瓷薄膜，陶瓷靶材致密度是不是越高好？

我用了99.99的氧化铝靶材溅射薄膜，靶材密度估算是3.6；可惜没有溅射下来。
寻找原因：
1、背板与靶材的有沾牢固。
2、功率最大用到200W。
3、百分之十的氧氩混合气。
4、基台500摄氏度。
5、靶材开裂，靶材厚度1.5mm

突发想法，靶材致密度越高，会不会影响溅射？

请大家提提意见，
回复此楼

» 猜你喜欢
头疼
1楼 2020-09-21 11:35:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lvhong

至尊木虫 (著名写手)

木虫
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
一般是绑定结合不好导致靶材表面热量不能快速导出，溅射过程不能顺利进行。

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
metal，Iknowit？
2楼2020-09-23 07:29:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

王龙权

木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
如果有射频电源，建议溅射期间，打开射频电源；纯铝溅射，有时因氧化问题而产生靶中毒，都会导致靶材发红甚至开裂，关键有时候根本不起辉。做氧化铝陶瓷膜为啥不考虑做反应镀膜，纯铝靶材+氧气？

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
3楼2020-10-13 17:37:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

东东那个东

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 王龙权 at 2020-10-13 17:37:26
如果有射频电源，建议溅射期间，打开射频电源；纯铝溅射，有时因氧化问题而产生靶中毒，都会导致靶材发红甚至开裂，关键有时候根本不起辉。做氧化铝陶瓷膜为啥不考虑做反应镀膜，纯铝靶材+氧气？
...

反应镀膜方法是挺好的，但是做致密的薄膜工艺难度大，反而没有CVD做的好。
现在我们想用氧化铝靶材直接溅射，用射频在将氧化铝溅射下来，在实验过程中，发现靶材厚度、靶材密度都对溅射有影响，所谓我才问其中的原因。

我询问的3家靶材制造商，都是标记致密度大于等于80
赞一下 回复此楼
头疼
4楼2021-01-05 13:27:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

东东那个东

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 王龙权 at 2020-10-13 17:37:26
如果有射频电源，建议溅射期间，打开射频电源；纯铝溅射，有时因氧化问题而产生靶中毒，都会导致靶材发红甚至开裂，关键有时候根本不起辉。做氧化铝陶瓷膜为啥不考虑做反应镀膜，纯铝靶材+氧气？
...

1、靶材密度导致溅射不起辉原因？
2、材料商都标记致密度大于等于80，实在规避风险？还是氧化物靶材溅射有通性？
赞一下 回复此楼
头疼
5楼2021-01-05 13:31:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

东东那个东

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by lvhong at 2020-09-23 07:29:08
一般是绑定结合不好导致靶材表面热量不能快速导出，溅射过程不能顺利进行。

我们已经溅射下来了，但是靶材的致密度在78左右。我们用的致密度95的氧化铝靶材，一直溅射不下来，这是什么原因？
赞一下 回复此楼
头疼
6楼2021-01-05 13:32:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 东东那个东 的主题更新
61/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] FileCode能看出啥？ +8 要乐观耀哥 2026-08-10 23/1150 2026-08-13 00:35 by 要乐观耀哥
[基金申请] 2019年青年基金涵评意见，大家看看几个A，几个B? +10 Tide man 2026-08-11 10/500 2026-08-12 20:59 by 陈晨晨陈啊
[基金申请] 不应该看fileCode +5 且听虎啸 2026-08-12 6/300 2026-08-12 16:26 by Tide man
[基金申请] 好奇怪的filecode +5 布布和一二 2026-08-08 6/300 2026-08-12 16:11 by 云上清扬
[论文投稿] 职称评审，求友友推荐见刊最快的期刊 +4 工厂打螺丝 2026-08-08 4/200 2026-08-12 09:18 by hansi2025
[基金申请] 综述论文作为代表作会不会影响评审专家的印象分？ +11 yufeiwaner 2026-08-09 13/650 2026-08-12 08:17 by yufeiwaner
[基金申请] 是这周出结果还是下周出结果？ +3 yuleib84 2026-08-11 3/150 2026-08-11 21:53 by jnhyjjm
[基金申请] 小木虫上这么多卖论文的，真有人买论文么？感觉没必要啊 +8 Tide man 2026-08-10 9/450 2026-08-11 20:39 by beefly
[基金申请] 有时候，自然基金真的不能太认真 （我的申报经验） +3 majunge000 2026-08-11 4/200 2026-08-11 20:13 by lch2012
[基金申请] 帮忙看看fileCode +7 wwncly 2026-08-10 13/650 2026-08-11 19:36 by 冰心玉壶晴
[硕博家园] 读博的好处 +3 lnee 2026-08-11 3/150 2026-08-11 18:10 by 希望我好好的
[基金申请] 听说今天filecode变了 +26 布布和一二 2026-08-06 49/2450 2026-08-11 13:18 by WH3796
[基金申请] 我的国基提前知道中了，可是同事的操作让我实在接受不了，怎么会有这样的人 +8 家与远方 2026-08-10 13/650 2026-08-11 09:49 by 家与远方
[基金申请] 静等基金结果 +5 gjjjzhong 2026-08-10 16/800 2026-08-10 17:19 by Tide man
[基金申请] 据悉今年马上要出结果了 +7 瞬息宇宙 2026-08-10 8/400 2026-08-10 12:42 by Vivilian
[基金申请] 2026国自然放榜时间 +9 布布和一二 2026-08-08 9/450 2026-08-10 11:22 by xxxx2020
[基金申请] filecode与中标关系的预测 +5 布布和一二 2026-08-07 5/250 2026-08-09 16:15 by 袁向阳007
[基金申请] 关于豆爷回答的JTJC与%2F数量 +5 yang182083 2026-08-06 7/350 2026-08-08 18:29 by zhanghaozhu
[基金申请] 国基金的申报应该改成非等额制，评价高的钱多评价低的钱少，但是增加资助率 +7 a089 2026-08-07 7/350 2026-08-08 18:05 by gltch
[基金申请] filecode变化情况 +6 布布和一二 2026-08-07 22/1100 2026-08-07 14:45 by 且听虎啸
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭