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[交流]
溅射陶瓷薄膜，陶瓷靶材致密度是不是越高好？
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我用了99.99的氧化铝靶材溅射薄膜，靶材密度估算是3.6；可惜没有溅射下来。 寻找原因： 1、背板与靶材的有沾牢固。 2、功率最大用到200W。 3、百分之十的氧氩混合气。 4、基台500摄氏度。 5、靶材开裂，靶材厚度1.5mm 突发想法，靶材致密度越高，会不会影响溅射？ 请大家提提意见， |
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lvhong
至尊木虫 (著名写手)
木虫
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2楼2020-09-23 07:29:08
王龙权
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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如果有射频电源，建议溅射期间，打开射频电源；纯铝溅射，有时因氧化问题而产生靶中毒，都会导致靶材发红甚至开裂，关键有时候根本不起辉。做氧化铝陶瓷膜为啥不考虑做反应镀膜，纯铝靶材+氧气？ 发自小木虫Android客户端 |
3楼2020-10-13 17:37:26
4楼2021-01-05 13:27:20
5楼2021-01-05 13:31:02
6楼2021-01-05 13:32:36