| 查看: 1510 | 回复: 5 | |||
| 【有奖交流】积极回复本帖子，参与交流，就有机会分得作者 东东那个东 的 50 个金币 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[交流]
溅射陶瓷薄膜，陶瓷靶材致密度是不是越高好？
|
|||
|
我用了99.99的氧化铝靶材溅射薄膜，靶材密度估算是3.6；可惜没有溅射下来。 寻找原因： 1、背板与靶材的有沾牢固。 2、功率最大用到200W。 3、百分之十的氧氩混合气。 4、基台500摄氏度。 5、靶材开裂，靶材厚度1.5mm 突发想法，靶材致密度越高，会不会影响溅射？ 请大家提提意见， |
回复此楼» 猜你喜欢
可生物降解聚酯正在重塑现代医疗器械
已经有0人回复
-
26届博士申请
已经有4人回复
-
有机高分子材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有298人回复
-
PLLA 微球在生物医学领域的研究与应用
已经有1人回复
-
PLLA 微球的材料特性与制备工艺解析
已经有0人回复
-
医用聚己内酯（PCL）全解析：从两段式降解到组织工程应用
已经有0人回复
-
反相硅胶如何再生？
已经有1人回复
-
哈尔滨理工大学2026年研究生调剂，材料科学与化学工程学院研究生调剂
已经有3人回复
-
武汉一本高校招收材料、化学、高分子、纺织、生物相关专业硕士生
已经有0人回复
王龙权
木虫 (著名写手)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 14535.3
- 红花: 19
- 帖子: 1003
- 在线: 46.3小时
- 虫号: 787250
- 注册: 2009-06-04
- 专业: 金属材料表面科学与工程
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
|
如果有射频电源，建议溅射期间，打开射频电源；纯铝溅射，有时因氧化问题而产生靶中毒，都会导致靶材发红甚至开裂，关键有时候根本不起辉。做氧化铝陶瓷膜为啥不考虑做反应镀膜，纯铝靶材+氧气？ 发自小木虫Android客户端 |
3楼2020-10-13 17:37:26
lvhong
至尊木虫 (著名写手)
木虫
- 应助: 22 (小学生)
- 金币: 16661.4
- 散金: 10
- 红花: 8
- 帖子: 1325
- 在线: 436小时
- 虫号: 44743
- 注册: 2004-05-01
- 性别: GG
- 专业: 金属功能材料
2楼2020-09-23 07:29:08
4楼2021-01-05 13:27:20
5楼2021-01-05 13:31:02
