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金虫 (正式写手)

[交流] 溅射陶瓷薄膜，陶瓷靶材致密度是不是越高好？

我用了99.99的氧化铝靶材溅射薄膜，靶材密度估算是3.6；可惜没有溅射下来。
寻找原因：
1、背板与靶材的有沾牢固。
2、功率最大用到200W。
3、百分之十的氧氩混合气。
4、基台500摄氏度。
5、靶材开裂，靶材厚度1.5mm

突发想法，靶材致密度越高，会不会影响溅射？

请大家提提意见，

头疼

1楼2020-09-21 11:35:25

至尊木虫 (著名写手)

木虫

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

一般是绑定结合不好导致靶材表面热量不能快速导出，溅射过程不能顺利进行。

发自小木虫Android客户端

metal，Iknowit？

2楼2020-09-23 07:29:08

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