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霜寒泪凝

银虫 (初入文坛)

[求助] 如何减少SiC单晶相变?

最近在做SiC晶体方面的课题,用单晶炉生长4H-SiC。但是经常能够出现6H或是15R相变,还有大量的贯穿微管。翻了不少书籍,也做了不少调整尝试,仍然不是很得要领。请各位大神指点,如何才能尽可能减少相变呢?
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地上的苦难是我等的食粮,苦难之后达神圣殿堂,苦难之后去往乐园。
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thinkberg

铜虫 (小有名气)

碳化硅这几种polytype能量接近很容易乱长。不知道你是什么方法,建议用off基板做外延。

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2楼2020-09-30 01:51:21
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南穑南

新虫 (初入文坛)

请问楼主还在做碳化硅单晶吗,有相同困扰,可以交流一下吗

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3楼2023-08-18 09:12:42
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