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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料化学 » 磁控溅射制备ZTO薄膜相关问题求解
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【悬赏金币】回答本帖问题，作者帅狗z将赠送您 5 个金币

帅狗z

铜虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射制备ZTO薄膜相关问题求解已有3人参与

本人使用磁控溅射制备ZTO薄膜，靶材是自制二元氧化物粉末压制靶材，发现如下问题：
1.靶材是压制的粉末靶材，底部使用Cu背靶，但是出现不亮辉。
2.使用直流，增大压强，和Ar气流量依旧没有辉光。
求各位大佬帮忙解答..
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1楼2020-07-02 14:28:32
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

tangent212

金虫 (小有名气)

北京有色金属研究总院
有关资料显示这样没烧结的靶材能溅射吗？
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www.grinm.com-----TEl：18600055816
7楼2020-07-08 08:59:54
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普通回帖

芳林飞溪

金虫 (正式写手)
射频试试？

发自小木虫Android客户端
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2楼2020-07-02 18:58:20
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帅狗z

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 芳林飞溪 at 2020-07-02 13:58:20
射频试试？

射频也不起辉。
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3楼2020-07-03 09:08:21
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

测一下靶面电阻。
另外靶的烧结如何？是不是疏松的?
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
4楼2020-07-06 14:10:48
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yuan129647

无虫 (小有名气)
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
guangnian: 金币-50, 应助指数-1, 屏蔽内容, 违规存档 2020-07-20 21:54:25
本帖内容被屏蔽
5楼2020-07-06 14:41:53
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帅狗z

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2020-07-06 09:10:48
测一下靶面电阻。
另外靶的烧结如何？是不是疏松的?

靶没有经过烧结，是粉末靶！

发自小木虫IOS客户端
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6楼2020-07-06 16:54:57
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帅狗z

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by tangent212 at 2020-07-08 03:59:54
有关资料显示这样没烧结的靶材能溅射吗？

应该是可以的！

发自小木虫IOS客户端
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8楼2020-07-08 22:15:59
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sciencetechn

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

3个方面的问题：1.是否短路   2.真空度是否达到要求  3.溅射功率是否达到。有问题请再追问（北京金源新材）
赞一下 回复此楼
专业研发高纯磁控溅射靶材蒸发镀膜材料：15210523788（微信），金源新材
9楼2020-12-24 10:52:03
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tt66tt55

捐助贵宾 (初入文坛)

【答案】应助回帖

1.推荐使用烧结过的靶材，更容易起辉。
2.检查设备靶位那块有没有短路。
3.确保镀膜腔室内及腔室侧壁干净无明显脏污，真空度最好有达到1*10-4Pa。
4.推荐使用射频不要用直流，可以试验射频功率逐渐提高有没有效果。
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10楼2020-12-24 16:40:24
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