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帅狗z

铜虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射制备ZTO薄膜相关问题求解已有3人参与

本人使用磁控溅射制备ZTO薄膜,靶材是自制二元氧化物粉末压制靶材,发现如下问题:
1.靶材是压制的粉末靶材,底部使用Cu背靶,但是出现不亮辉。
2.使用直流,增大压强,和Ar气流量依旧没有辉光。
求各位大佬帮忙解答..
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tt66tt55

捐助贵宾 (初入文坛)

【答案】应助回帖

1.推荐使用烧结过的靶材,更容易起辉。
2.检查设备靶位那块有没有短路。
3.确保镀膜腔室内及腔室侧壁干净无明显脏污,真空度最好有达到1*10-4Pa。
4.推荐使用射频不要用直流,可以试验射频功率逐渐提高有没有效果。
10楼2020-12-24 16:40:24
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芳林飞溪

金虫 (正式写手)

2楼2020-07-02 18:58:20
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帅狗z

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 芳林飞溪 at 2020-07-02 13:58:20
射频试试?

射频也不起辉。
3楼2020-07-03 09:08:21
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

测一下靶面电阻。
另外靶的烧结如何?是不是疏松的?
擅长薄膜材料工艺,欢迎交流captain0119
4楼2020-07-06 14:10:48
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