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材料综合
磁控溅射制备ZTO薄膜相关问题求解
本人使用
磁控溅射制备ZTO薄膜
，靶材是自制二元氧化物粉末压制靶材，发现如下
问题
：1.靶材是压制的粉末靶材，底部使用Cu背靶，但是出现不亮辉。2.使用直流，增大压强，和Ar气流量依旧没有...
帅狗z
2020-07-02 06:32
