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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料化学 » 磁控溅射制备ZTO薄膜相关问题求解
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帅狗z

铜虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射制备ZTO薄膜相关问题求解已有3人参与

本人使用磁控溅射制备ZTO薄膜，靶材是自制二元氧化物粉末压制靶材，发现如下问题：
1.靶材是压制的粉末靶材，底部使用Cu背靶，但是出现不亮辉。
2.使用直流，增大压强，和Ar气流量依旧没有辉光。
求各位大佬帮忙解答..
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1楼2020-07-02 14:28:32
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yuan129647

无虫 (小有名气)
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guangnian: 金币-50, 应助指数-1, 屏蔽内容, 违规存档 2020-07-20 21:54:25
本帖内容被屏蔽
5楼2020-07-06 14:41:53
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