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怎么在PMMA图案上面得到Cu图案 已有1人参与
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先制备PMMA+Cu的图案，然后喷涂CNT后，溶于丙酮把前面的PMMA+Cu去除掉。这个PMMA+Cu的图案怎么制备呢 我觉得在对PMMA电子束光刻胶1匀胶显影之后，再旋涂一层光刻胶2，镀完Cu膜之后，lift-off工艺把光刻胶2去除掉，得到PMMA+Cu的图案。 但是对光刻胶2显影和去胶的过程中，什么显影液和去胶液对光刻胶2有影响，对PMMA光刻胶1不产生影响呢？ |
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