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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 怎么在PMMA图案上面得到Cu图案
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【悬赏金币】回答本帖问题，作者521Huang将赠送您 5 个金币

521Huang

新虫 (初入文坛)

[求助] 怎么在PMMA图案上面得到Cu图案 已有1人参与

先制备PMMA+Cu的图案，然后喷涂CNT后，溶于丙酮把前面的PMMA+Cu去除掉。这个PMMA+Cu的图案怎么制备呢
我觉得在对PMMA电子束光刻胶1匀胶显影之后，再旋涂一层光刻胶2，镀完Cu膜之后，lift-off工艺把光刻胶2去除掉，得到PMMA+Cu的图案。
但是对光刻胶2显影和去胶的过程中，什么显影液和去胶液对光刻胶2有影响，对PMMA光刻胶1不产生影响呢？
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1楼 2024-05-27 10:15:05
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Hasty

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

？没懂。”PMMA电子束光刻胶1匀胶显影之后，再旋涂一层光刻胶2……“不就把光刻胶1图案盖掉了？这个时候再镀铜，不就是平整的铜镀层？—— 我的理解是PMMA光刻胶1显影后，原子沉积/镀膜Cu，再CMP抛光到暴露PMMA，这不就是PMMA+Cu图案？
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2楼2024-10-25 16:46:16
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NanoPi

银虫 (著名写手)
上一个示意图看看，可以做微纳代工
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3楼2024-10-31 19:04:51
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