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怎么在PMMA图案上面得到Cu图案 已有1人参与
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先制备PMMA+Cu的图案,然后喷涂CNT后,溶于丙酮把前面的PMMA+Cu去除掉。这个PMMA+Cu的图案怎么制备呢 我觉得在对PMMA电子束光刻胶1匀胶显影之后,再旋涂一层光刻胶2,镀完Cu膜之后,lift-off工艺把光刻胶2去除掉,得到PMMA+Cu的图案。 但是对光刻胶2显影和去胶的过程中,什么显影液和去胶液对光刻胶2有影响,对PMMA光刻胶1不产生影响呢? |
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上一个示意图看看,可以做微纳代工