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521Huang

新虫 (初入文坛)

[求助] 怎么在PMMA图案上面得到Cu图案 已有1人参与

先制备PMMA+Cu的图案,然后喷涂CNT后,溶于丙酮把前面的PMMA+Cu去除掉。这个PMMA+Cu的图案怎么制备呢
我觉得在对PMMA电子束光刻胶1匀胶显影之后,再旋涂一层光刻胶2,镀完Cu膜之后,lift-off工艺把光刻胶2去除掉,得到PMMA+Cu的图案。
但是对光刻胶2显影和去胶的过程中,什么显影液和去胶液对光刻胶2有影响,对PMMA光刻胶1不产生影响呢?
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Hasty

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

?没懂。”PMMA电子束光刻胶1匀胶显影之后,再旋涂一层光刻胶2……“不就把光刻胶1图案盖掉了?这个时候再镀铜,不就是平整的铜镀层?—— 我的理解是PMMA光刻胶1显影后,原子沉积/镀膜Cu,再CMP抛光到暴露PMMA,这不就是PMMA+Cu图案?
2楼2024-10-25 16:46:16
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NanoPi

银虫 (著名写手)


上一个示意图看看,可以做微纳代工
3楼2024-10-31 19:04:51
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