| 查看: 1240 | 回复: 4 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
huihuihuang新虫 (正式写手)
|
[求助]
关于利用椭偏仪测试双层薄膜的光学常数问题 已有1人参与
|
|
|
请教一个问题： A：N型硅片上沉积有富硼层，B：N型硅片上沉积有富硼层和硼硅酸玻璃层（硼硅酸玻璃层在上） (a)采用椭偏分析仪测试样品A，得到样品A的Ψ (A) -λ曲线、采用椭偏分析仪测试样品B，得到样品B的Ψ (B) -λ曲线； (b)基于第一性原理密度泛函方法，求解得到样品A富硼层的厚度、折射率和消光系数； (c)将样品A富硼层的厚度、折射率和消光系数带入样品B的Ψ (B) -λ曲线，通过拟合分析得到样品B硼硅玻璃层的厚度、折射率和消光系数。 请问从步骤(C)中得到B中硼硅酸玻璃层的光学常数的原理是什么？是很常规的利用椭偏仪测试薄膜厚度与光学常数的方法吗？ |
回复此楼» 猜你喜欢
2026年齐鲁工业大学(山东省科学院)材料学部电子材料与元器件创新团队招收调剂研究生
已经有2人回复
-
华北理工大学-矿业工程学院接收调剂研究生
已经有0人回复
-
有机高分子材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有148人回复
-
江西师大化学工程学院调剂今晚0点开放！
已经有12人回复
-
西安工业大学光电学院接收调剂
已经有14人回复
-
我校材料科学与工程专业学硕还有调剂名额
已经有3人回复
-
非硅导热垫片求指点
已经有0人回复
-
求助磷酸铁锂cif#81-1173
已经有0人回复
-
求助CaO-Al2O3-Y2O3三元相图
已经有1人回复
-
有没有接收比较快的sci期刊呀，最好在一个月之内的，研三孩子求毕业
已经有5人回复
huihuihuang
新虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2369.6
- 散金: 305
- 红花: 3
- 帖子: 304
- 在线: 234.4小时
- 虫号: 2512538
- 注册: 2013-06-18
- 性别: MM
- 专业: 金属功能材料
3楼2020-05-18 09:12:25
hustoe2011
至尊木虫 (文坛精英)
- 应助: 178 (高中生)
- 金币: 22855.1
- 散金: 9962
- 红花: 47
- 帖子: 22053
- 在线: 4425.9小时
- 虫号: 1333598
- 注册: 2011-06-29
- 性别: GG
- 专业: 光学和光电子材料
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
huihuihuang: 金币+50, ★有帮助 2020-05-20 23:32:18
感谢参与，应助指数 +1
huihuihuang: 金币+50, ★有帮助 2020-05-20 23:32:18
|
你确定第二步（b）是基于第一性原理密度泛函方法么？ 求解样品A富硼层的厚度、折射率和消光系数，是 光束在 Air-富硼层-N型硅基片 三层结构中的反射，tanψ与s、p偏振光振幅的变化有关。 样品B：N型硅片上沉积有富硼层和硼硅酸玻璃层（硼硅酸玻璃层在上） 按光束在 Air-硼硅酸玻璃层-富硼层-N型硅基片 四层结构中的反射处理。 （c）这一步成立的前提是：样品A和样品B具有相同的富硼层厚度，否则拟合没什么意义。 |
2楼2020-05-18 08:35:55
hustoe2011
至尊木虫 (文坛精英)
- 应助: 178 (高中生)
- 金币: 22855.1
- 散金: 9962
- 红花: 47
- 帖子: 22053
- 在线: 4425.9小时
- 虫号: 1333598
- 注册: 2011-06-29
- 性别: GG
- 专业: 光学和光电子材料
4楼2020-05-18 09:32:30
huihuihuang
新虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2369.6
- 散金: 305
- 红花: 3
- 帖子: 304
- 在线: 234.4小时
- 虫号: 2512538
- 注册: 2013-06-18
- 性别: MM
- 专业: 金属功能材料
5楼2020-05-18 17:49:03
