| 查看: 1153 | 回复: 4 | ||
huihuihuang新虫 (正式写手)
|
[求助]
关于利用椭偏仪测试双层薄膜的光学常数问题 已有1人参与
|
|
请教一个问题： A：N型硅片上沉积有富硼层，B：N型硅片上沉积有富硼层和硼硅酸玻璃层（硼硅酸玻璃层在上） (a)采用椭偏分析仪测试样品A，得到样品A的Ψ (A) -λ曲线、采用椭偏分析仪测试样品B，得到样品B的Ψ (B) -λ曲线； (b)基于第一性原理密度泛函方法，求解得到样品A富硼层的厚度、折射率和消光系数； (c)将样品A富硼层的厚度、折射率和消光系数带入样品B的Ψ (B) -λ曲线，通过拟合分析得到样品B硼硅玻璃层的厚度、折射率和消光系数。 请问从步骤(C)中得到B中硼硅酸玻璃层的光学常数的原理是什么？是很常规的利用椭偏仪测试薄膜厚度与光学常数的方法吗？ |
回复此楼» 猜你喜欢
随笔之混凝土外加剂绿色生产的变奏曲
已经有0人回复
-
求修复生态学专业的本科培养方案
已经有0人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有221人回复
-
随笔：混凝土外加剂之共生共荣的产业生态
已经有0人回复
-
产业链协同深化助推减水剂行业发展
已经有0人回复
-
聚焦细分市场呈现差异化竞争
已经有0人回复
-
如何四步选出合适的减水剂？
已经有0人回复
-
河南金钰新材料有限公司南召县金钰新材料制造项目（一期）竣工环境保护验收公示
已经有0人回复
-
南召鑫琦方解石有限公司验收竣工环境保护验收公示
已经有5人回复
-
混凝土外加剂按功能用途分类
已经有0人回复
-
如何选择葡萄糖酸钠？
已经有0人回复
hustoe2011
至尊木虫 (文坛精英)
- 应助: 178 (高中生)
- 金币: 22855.1
- 散金: 9962
- 红花: 47
- 帖子: 22053
- 在线: 4425.9小时
- 虫号: 1333598
- 注册: 2011-06-29
- 性别: GG
- 专业: 光学和光电子材料
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
huihuihuang: 金币+50, ★有帮助 2020-05-20 23:32:18
感谢参与，应助指数 +1
huihuihuang: 金币+50, ★有帮助 2020-05-20 23:32:18
|
你确定第二步（b）是基于第一性原理密度泛函方法么？ 求解样品A富硼层的厚度、折射率和消光系数，是 光束在 Air-富硼层-N型硅基片 三层结构中的反射，tanψ与s、p偏振光振幅的变化有关。 样品B：N型硅片上沉积有富硼层和硼硅酸玻璃层（硼硅酸玻璃层在上） 按光束在 Air-硼硅酸玻璃层-富硼层-N型硅基片 四层结构中的反射处理。 （c）这一步成立的前提是：样品A和样品B具有相同的富硼层厚度，否则拟合没什么意义。 |
2楼2020-05-18 08:35:55
huihuihuang
新虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2369.6
- 散金: 305
- 红花: 3
- 帖子: 304
- 在线: 234.4小时
- 虫号: 2512538
- 注册: 2013-06-18
- 性别: MM
- 专业: 金属功能材料
3楼2020-05-18 09:12:25
hustoe2011
至尊木虫 (文坛精英)
- 应助: 178 (高中生)
- 金币: 22855.1
- 散金: 9962
- 红花: 47
- 帖子: 22053
- 在线: 4425.9小时
- 虫号: 1333598
- 注册: 2011-06-29
- 性别: GG
- 专业: 光学和光电子材料
4楼2020-05-18 09:32:30
huihuihuang
新虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2369.6
- 散金: 305
- 红花: 3
- 帖子: 304
- 在线: 234.4小时
- 虫号: 2512538
- 注册: 2013-06-18
- 性别: MM
- 专业: 金属功能材料
5楼2020-05-18 17:49:03