| 查看: 1246 | 回复: 4 | |||
huihuihuang新虫 (正式写手)
|
[求助]
关于利用椭偏仪测试双层薄膜的光学常数问题 已有1人参与
|
|
请教一个问题： A：N型硅片上沉积有富硼层，B：N型硅片上沉积有富硼层和硼硅酸玻璃层（硼硅酸玻璃层在上） (a)采用椭偏分析仪测试样品A，得到样品A的Ψ (A) -λ曲线、采用椭偏分析仪测试样品B，得到样品B的Ψ (B) -λ曲线； (b)基于第一性原理密度泛函方法，求解得到样品A富硼层的厚度、折射率和消光系数； (c)将样品A富硼层的厚度、折射率和消光系数带入样品B的Ψ (B) -λ曲线，通过拟合分析得到样品B硼硅玻璃层的厚度、折射率和消光系数。 请问从步骤(C)中得到B中硼硅酸玻璃层的光学常数的原理是什么？是很常规的利用椭偏仪测试薄膜厚度与光学常数的方法吗？ |
回复此楼» 猜你喜欢
天津城建大学材料科学与工程学院接收调剂
已经有1人回复
-
(广州)仲恺农业工程学院杨老师课题组招收调剂生，仍有名额
已经有0人回复
-
无机非金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有119人回复
-
高温合金厂家
已经有0人回复
-
广东医科大学2026年招聘简章
已经有1人回复
-
调剂招生
已经有0人回复
-
硝酸腐蚀与钽表面合金技术防护
已经有0人回复
-
浙江农林大学082900林业工程学科招收调剂学术型硕士
已经有0人回复
-
济南大学-先进建筑材料教育部工程研究中心-大牛团队-26届博士生申请
已经有23人回复
-
一公斤钽材七千多，钛才两三百，换钛不就完了？
已经有0人回复
-
钽基超高温碳化物规模化合成 开启极端材料新时代
已经有0人回复
hustoe2011
至尊木虫 (文坛精英)
- 应助: 178 (高中生)
- 金币: 22855.1
- 散金: 9962
- 红花: 47
- 帖子: 22053
- 在线: 4425.9小时
- 虫号: 1333598
- 注册: 2011-06-29
- 性别: GG
- 专业: 光学和光电子材料
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
huihuihuang: 金币+50, ★有帮助 2020-05-20 23:32:18
感谢参与，应助指数 +1
huihuihuang: 金币+50, ★有帮助 2020-05-20 23:32:18
|
你确定第二步（b）是基于第一性原理密度泛函方法么？ 求解样品A富硼层的厚度、折射率和消光系数，是 光束在 Air-富硼层-N型硅基片 三层结构中的反射，tanψ与s、p偏振光振幅的变化有关。 样品B：N型硅片上沉积有富硼层和硼硅酸玻璃层（硼硅酸玻璃层在上） 按光束在 Air-硼硅酸玻璃层-富硼层-N型硅基片 四层结构中的反射处理。 （c）这一步成立的前提是：样品A和样品B具有相同的富硼层厚度，否则拟合没什么意义。 |
2楼2020-05-18 08:35:55
huihuihuang
新虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2369.6
- 散金: 305
- 红花: 3
- 帖子: 304
- 在线: 234.4小时
- 虫号: 2512538
- 注册: 2013-06-18
- 性别: MM
- 专业: 金属功能材料
3楼2020-05-18 09:12:25
hustoe2011
至尊木虫 (文坛精英)
- 应助: 178 (高中生)
- 金币: 22855.1
- 散金: 9962
- 红花: 47
- 帖子: 22053
- 在线: 4425.9小时
- 虫号: 1333598
- 注册: 2011-06-29
- 性别: GG
- 专业: 光学和光电子材料
4楼2020-05-18 09:32:30
huihuihuang
新虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2369.6
- 散金: 305
- 红花: 3
- 帖子: 304
- 在线: 234.4小时
- 虫号: 2512538
- 注册: 2013-06-18
- 性别: MM
- 专业: 金属功能材料
5楼2020-05-18 17:49:03
5