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小小小欧姆

新虫 (正式写手)

[交流] 磁控溅射无法启辉 已有3人参与

重新清理了靶面和腔室,靶材也清洁了,反射功率还是太大了,全自动的又没办法调节,射频电源可以自己检查问题吗?最主要的是找不到问题,大家有什么好的建议吗

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野人禾禾

金虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by 小小小欧姆 at 2020-06-30 08:29:20
最后检查出匹配器坏了
...

电容坏掉了吧
擅长薄膜材料工艺,欢迎交流captain0119
5楼2020-08-28 11:15:50
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投石问路2016

木虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
气压太大或者太小了

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2楼2020-04-15 23:54:57
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池州学子

木虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
反射功率太大还是主要检查你阴极的屏蔽做的怎么样,一般功率小,不明显,当溅射功率加大后,如果屏蔽做的不好,反馈功率就大了。
3楼2020-06-30 11:08:40
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小小小欧姆

新虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 池州学子 at 2020-06-30 11:08:40
反射功率太大还是主要检查你阴极的屏蔽做的怎么样,一般功率小,不明显,当溅射功率加大后,如果屏蔽做的不好,反馈功率就大了。

最后检查出匹配器坏了

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4楼2020-06-30 15:29:20
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