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磁控溅射无法启辉 已有3人参与
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重新清理了靶面和腔室,靶材也清洁了,反射功率还是太大了,全自动的又没办法调节,射频电源可以自己检查问题吗?最主要的是找不到问题,大家有什么好的建议吗 发自小木虫IOS客户端 |
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