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磁控溅射无法启辉 已有3人参与
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重新清理了靶面和腔室，靶材也清洁了，反射功率还是太大了，全自动的又没办法调节，射频电源可以自己检查问题吗？最主要的是找不到问题，大家有什么好的建议吗 发自小木虫IOS客户端 |
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木虫 (著名写手)
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