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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 设计与制备 » 磁控溅射无法启辉
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小小小欧姆

新虫 (正式写手)

[交流] 磁控溅射无法启辉 已有3人参与

重新清理了靶面和腔室，靶材也清洁了，反射功率还是太大了，全自动的又没办法调节，射频电源可以自己检查问题吗？最主要的是找不到问题，大家有什么好的建议吗

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1楼 2020-04-15 19:07:07
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池州学子

木虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
反射功率太大还是主要检查你阴极的屏蔽做的怎么样，一般功率小，不明显，当溅射功率加大后，如果屏蔽做的不好，反馈功率就大了。
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3楼2020-06-30 11:08:40
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投石问路2016

木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
气压太大或者太小了

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净
2楼2020-04-15 23:54:57
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小小小欧姆

新虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 池州学子 at 2020-06-30 11:08:40
反射功率太大还是主要检查你阴极的屏蔽做的怎么样，一般功率小，不明显，当溅射功率加大后，如果屏蔽做的不好，反馈功率就大了。

最后检查出匹配器坏了

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4楼2020-06-30 15:29:20
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野人禾禾

金虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 小小小欧姆 at 2020-06-30 08:29:20
最后检查出匹配器坏了
...

电容坏掉了吧
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
5楼2020-08-28 11:15:50
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