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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【求助】XPS和EDX有什么区别
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xuqiuju

新虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】XPS和EDX有什么区别

在表面元素测定方面，XPS和ESX有什么区别？
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1楼 2009-06-25 10:52:46
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

lifeilong

铜虫 (初入文坛)
★
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两者都是用单色的X射线照射样品，不同的是XPS主要检测光致电离产生的光电子，而只有深度很浅范围内产生的光电子才能逸出表面，经能量分析仪分析光电子的动能，根据测得的光电子的动能和某种动能光电子的数量，定性定量分析样品存在的元素和数量。而EDX主要是检测样品被X射线照射后产生的特征X射线，通过液氮冷却的半导体探测器（高分辨）或正比计数器或闪烁计数器（低分辨）检测特征X射线的频率和强度，进而分析样品的元素和元素含量。
因此两者的区别在于：1、检测范围差别：XPS表层5-10nm，EDX样品表面100-1000nm深度；2、XPS精度高、EDX精度一般
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16楼2009-07-15 13:10:57
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普通回帖

小马01

金虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
你去GOOGLE一下，不久完事啦！
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LuckFavorsThosePrepared
2楼2009-06-25 10:54:19
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whzg

木虫 (知名作家)
★ ★ ★
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闪闪红心(金币+2,VIP+0):谢谢交流 6-25 14:17
XPS是测量样品表层信息，而且可以拟合得到化合物元素组分比。而EDX是SEM带的波谱仪附件，也是测量样品元素组分的，是每个区域的平均值。感觉XPS比后者获得信息更多一下，而且XPS可以进行薄膜样品深度分析，后者好像不行吧。更多的信息可以看看相关书籍和文献

[ Last edited by whzg on 2009-6-25 at 13:28 ]
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3楼2009-06-25 13:26:37
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shoppingyan

铁虫 (小有名气)
★ ★
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洛阳学子(金币+1,VIP+0):多谢交流 6-25 20:41
XPS会比EDX全面一些。EDX只能测出表面元素的相对含量，而XPS还可以得到同个元素不同价态的比例。
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4楼2009-06-25 16:58:42
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Shine9083

金虫 (小有名气)
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洛阳学子(金币+2,VIP+0):鼓励新虫 6-25 20:42
XPS测试和分析更精确些，如果你以前没有做过，最好找个专业的老师咨询一下，那个标定很需要技巧的，EDX做些定性分析方面的，看元素分布或者物质含量还可以。
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5楼2009-06-25 18:03:11
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jianchen2500

木虫 (职业作家)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
EDS只能半定量分析，能知道可能的元素组成和大致的分别（如线扫或面扫），一般它的分析深度在微米量级；XPS主要是表面分析，能为准确，能定量分析和大致确定表面成分，它的分析深度在纳米量级。
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6楼2009-06-26 01:27:49
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liaoxnwql

金虫 (正式写手)
XPS主要是表面分析，能为准确，能定量分析和大致确定表面成分，它的分析深度在纳米量级，EDX测量的是大概的
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7楼2009-06-26 21:34:26
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xiaolong3097

新虫 (著名写手)
XPS精确，EDS只是附件，而且原子序数差别越大，越不准确
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爱人是路，朋友是猪，人生只有一条路，路上会有好多猪，有钱的时候别走错路，缺钱的时候别卖猪，幸福的时候别迷路，休息的时候喂喂猪.
8楼2009-06-27 09:32:07
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大兵7752

木虫 (小有名气)
路过学习咯
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9楼2009-06-29 18:01:18
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sflyzhang

铜虫 (小有名气)
★
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XPS准确,价格较高,EDX结果变化大,不是很准确,且价格较便宜!
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10楼2009-06-29 19:30:50
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