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【求助】XPS和EDX有什么区别
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| 在表面元素测定方面，XPS和ESX有什么区别？ |
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小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
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两者都是用单色的X射线照射样品，不同的是XPS主要检测光致电离产生的光电子，而只有深度很浅范围内产生的光电子才能逸出表面，经能量分析仪分析光电子的动能，根据测得的光电子的动能和某种动能光电子的数量，定性定量分析样品存在的元素和数量。而EDX主要是检测样品被X射线照射后产生的特征X射线，通过液氮冷却的半导体探测器（高分辨）或正比计数器或闪烁计数器（低分辨）检测特征X射线的频率和强度，进而分析样品的元素和元素含量。 因此两者的区别在于：1、检测范围差别：XPS表层5-10nm，EDX样品表面100-1000nm深度；2、XPS精度高、EDX精度一般 |
16楼2009-07-15 13:10:57
2楼2009-06-25 10:54:19
whzg
木虫 (知名作家)
- 应助: 2 (幼儿园)
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- 散金: 12010
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- 专业: 半导体材料
3楼2009-06-25 13:26:37
4楼2009-06-25 16:58:42
