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【求助】请教一个氩离子刻蚀问题
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[交流]
【求助】请教一个氩离子刻蚀问题
请教一个氩离子刻蚀问题
看到一篇大连化物所包信和的文章《NO 与Ag( 110) 表面的相互作用》
是将NO在单晶银表面的刻蚀问题。
里面降到银表面处理,说是氩离子刻蚀,不知用的什么设备?
一般的等离子体清洗器还是专业的氩离子大型刻蚀机?
金属能刻蚀进去?
多谢指教。
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2009-06-22 15:53:38
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铁杆木虫
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hr5898(金币
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):谢谢参与讨论,欢迎常来催化版!
6-24 20:54
应该不是啊,它是用来对银表面进行刻蚀的
引用回帖:
Originally posted by
hljiang
at 2009-6-23 16:54:
应该用的是XPS的etching功能吧
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4楼
2009-06-23 22:19:28
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2009-06-23 14:56:45
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hljiang
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):给个红包,谢谢回帖交流
hr5898(金币
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6-24 20:54
应该用的是XPS的etching功能吧
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岂能尽如人意,但求无愧吾心
3楼
2009-06-23 16:54:22
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):给个红包,谢谢回帖交流
hr5898(金币
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):谢谢参与讨论,欢迎常来催化版!
6-24 20:54
只知道XPS分析过程中可以用氩离子刻蚀,以剥离外层的杂质或者包埋物质,从而检测表面大约10纳米一下的组成!
Applied Catalysis A: General, 352 (2009), pp. 259-264.
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6楼
2009-06-24 16:04:32
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