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【求助】请教一个氩离子刻蚀问题
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请教一个氩离子刻蚀问题 看到一篇大连化物所包信和的文章《NO 与Ag( 110) 表面的相互作用》 是将NO在单晶银表面的刻蚀问题。 里面降到银表面处理，说是氩离子刻蚀，不知用的什么设备？ 一般的等离子体清洗器还是专业的氩离子大型刻蚀机？ 金属能刻蚀进去？ 多谢指教。 |
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2楼2009-06-23 14:56:45
hljiang
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