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deler

铁杆木虫 (小有名气)

[交流] 【求助】请教一个氩离子刻蚀问题

请教一个氩离子刻蚀问题
看到一篇大连化物所包信和的文章《NO 与Ag( 110) 表面的相互作用》
是将NO在单晶银表面的刻蚀问题。
里面降到银表面处理，说是氩离子刻蚀，不知用的什么设备？
一般的等离子体清洗器还是专业的氩离子大型刻蚀机？
金属能刻蚀进去？
多谢指教。
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1楼 2009-06-22 15:53:38
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deler

铁杆木虫 (小有名气)
没有人回答，自己顶起来。
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2楼2009-06-23 14:56:45
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hljiang

铁杆木虫 (著名写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
hr5898(金币+1,VIP+0):谢谢参与讨论，欢迎常来催化版！ 6-24 20:54
应该用的是XPS的etching功能吧
赞一下(11人) 回复此楼
岂能尽如人意，但求无愧吾心
3楼2009-06-23 16:54:22
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deler

铁杆木虫 (小有名气)
★
hr5898(金币+1,VIP+0):谢谢参与讨论，欢迎常来催化版！ 6-24 20:54
应该不是啊，它是用来对银表面进行刻蚀的
引用回帖:
Originally posted by hljiang at 2009-6-23 16:54:
应该用的是XPS的etching功能吧

赞一下(10人) 回复此楼
4楼2009-06-23 22:19:28
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sdxuhong

铜虫 (正式写手)
★
hr5898(金币+1,VIP+0):谢谢参与讨论，欢迎常来催化版！ 6-24 20:54
是用的XPS
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5楼2009-06-24 15:32:47
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zyhou

专家顾问 (文坛精英)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
hr5898(金币+1,VIP+0):谢谢参与讨论，欢迎常来催化版！ 6-24 20:54
只知道XPS分析过程中可以用氩离子刻蚀，以剥离外层的杂质或者包埋物质，从而检测表面大约10纳米一下的组成！
Applied Catalysis A: General, 352 (2009), pp. 259-264.
赞一下(11人) 回复此楼
6楼2009-06-24 16:04:32
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