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deler

铁杆木虫 (小有名气)

[交流] 【求助】请教一个氩离子刻蚀问题

请教一个氩离子刻蚀问题
看到一篇大连化物所包信和的文章《NO 与Ag( 110) 表面的相互作用》
是将NO在单晶银表面的刻蚀问题。
里面降到银表面处理,说是氩离子刻蚀,不知用的什么设备?
一般的等离子体清洗器还是专业的氩离子大型刻蚀机?
金属能刻蚀进去?
多谢指教。
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deler

铁杆木虫 (小有名气)

没有人回答,自己顶起来。
2楼2009-06-23 14:56:45
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hljiang

铁杆木虫 (著名写手)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
hr5898(金币+1,VIP+0):谢谢参与讨论,欢迎常来催化版! 6-24 20:54
应该用的是XPS的etching功能吧
岂能尽如人意,但求无愧吾心
3楼2009-06-23 16:54:22
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deler

铁杆木虫 (小有名气)


hr5898(金币+1,VIP+0):谢谢参与讨论,欢迎常来催化版! 6-24 20:54
应该不是啊,它是用来对银表面进行刻蚀的
引用回帖:
Originally posted by hljiang at 2009-6-23 16:54:
应该用的是XPS的etching功能吧

4楼2009-06-23 22:19:28
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sdxuhong

铜虫 (正式写手)


hr5898(金币+1,VIP+0):谢谢参与讨论,欢迎常来催化版! 6-24 20:54
是用的XPS
5楼2009-06-24 15:32:47
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zyhou

专家顾问 (文坛精英)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
hr5898(金币+1,VIP+0):谢谢参与讨论,欢迎常来催化版! 6-24 20:54
只知道XPS分析过程中可以用氩离子刻蚀,以剥离外层的杂质或者包埋物质,从而检测表面大约10纳米一下的组成!
Applied Catalysis A: General, 352 (2009), pp. 259-264.
6楼2009-06-24 16:04:32
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