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harrychen8112

金虫 (正式写手)

[交流] 【请教】如何测试物理沉积(PVD)薄膜的膜厚?

【请教】如何测试物理沉积(PVD)薄膜的膜厚?【已搜无重复】
物理沉积薄膜为一薄合金层,如何测量沉积在衬底上的这层薄膜的厚度?
本人曾尝试用重量增量的方法来测,但效果不好,精度也不高。不知有哪位有经验虫虫能指教指教  ,最好能给点方法和具体仪器。兼顾可操作性和一定的精度  是最好的。{板条状试样,薄膜的厚度精确到0.01微米比较合适。}

[ Last edited by harrychen8112 on 2009-6-21 at 00:53 ]
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cjw796

金虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
Profilometer is the best solution
13楼2009-08-06 23:57:57
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lss1073

禁虫 (正式写手)

★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
洛阳学子(金币+2,VIP+0):多谢 6-21 02:17
本帖内容被屏蔽

2楼2009-06-21 00:54:38
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whzg

木虫 (知名作家)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
最常用的是以台阶仪测量,也可以用AFM测量,还可以用SEM测样品的断面也可以得到。这些效果都不错。
3楼2009-06-21 08:11:58
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gold1987

木虫 (职业作家)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
台阶仪好  AFM太精细了
你镀膜前用小块胶带粘住衬底   然后镀完后撕掉胶带
用台阶仪测就行了
4楼2009-06-21 08:36:55
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